[发明专利]一种基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法在审
| 申请号： | 201810016670.0 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN108333389A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 季节;索智;郭晨伟;翟鹏;许鹰;徐世法 | 申请（专利权）人： | 北京建筑大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) 11367 | 代理人： | 单晶 |
| 地址： | 100044*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面粗糙度 集料 测试集 原子力显微镜 测试 三维坐标信息 微电子芯片 有效性验证 独立样本 分形理论 光学系统 技术测试 纳米科技 平均偏差 制备集料 区分性 新一代 导出 试件 算数 研究 生物工程 应用 分析 | ||
1.一种基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，通过原子力显微镜对集料表面粗糙度进行测试，将测试所得到的三维坐标信息导出；对集料表面粗糙度的轮廓算术平均偏差进行有效性验证；检验集料表面粗糙度的区分性。
2.根据权利要求1所述的基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，其特征在于：包括如下步骤：
步骤一：通过原子力显微镜中的轻敲模式对集料表面粗糙度进行测试；
步骤二：将测试所得到的三维坐标信息通过纳米尺度分析软件导出；
步骤三：对集料表面粗糙度的轮廓算术平均偏差Ra进行有效性验证；
步骤四：采用数据统计软件中的独立样本t检验验证集料表面粗糙度的区分性。
3.根据权利要求2所述的基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，其特征在于：还包括制备集料试件的步骤。
4.如权利要求3所述的基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，其特征在于：制备集料试件的步骤中，使用200#砂纸消除集料切割纹理，500#和1000#砂纸将集料试件打磨平整，便于测试。
5.如权利要求2所述的基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步骤一中，原子力显微镜仪器采用的探针型号为TAP525A，材料为硅，频率为525KHz。
6.如权利要求2所述的基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步骤一中，所述原子力显微镜仪器采用的试验模式为轻敲模式。
7.如权利要求6所述的基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步骤一中，所述轻敲模式的扫描速度为0.5Hz。
8.如权利要求7所述的基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步骤一中，所述轻敲模式的扫描范围为10μm*10μm。
9.如权利要求8所述的基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步骤一中，所述轻敲模式的预设压力为0.5V。
10.如权利要求9所述的基于原子力显微镜测试集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步骤一中，测试过程中，随机选取集料中五个点进行扫描。
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