[发明专利]结电容参数测试电路及其测试方法有效

专利信息
申请号: 201810016800.0 申请日: 2018-01-08
公开(公告)号: CN108333433B 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 胡江;耿霄雄;龚飞佳;钟锋浩 申请(专利权)人: 杭州长川科技股份有限公司
主分类号: G01R27/26 分类号: G01R27/26
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 尉伟敏;阎忠华
地址: 310000 浙江省杭州市滨江区江淑*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 电容 参数 测试 电路 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种结电容参数测试电路,其特征是,包括正弦波信号源、隔离开关电路、隔绝串扰开关电路、隔绝高压电容电路、漏极高压电源VDS、栅极源极短路可控制开关S9、交流电流取样电路A、交流电压取样电路V1和直流电压取样电路V2;正弦波信号源与隔离开关电路电连接,隔离开关电路与隔绝高压电容电路电连接,隔绝高压电容电路与栅极源极短路可控制开关S9电连接,交流电流取样电路A分别与正弦波信号源和隔离开关电连接,交流电压取样电路V1与隔离开关电连接,直流电压取样电路V2和漏极高压电源VDS均与栅极源极短路可控制开关S9电连接,隔绝串扰开关电路分别与隔离开关电路和隔绝高压电容电路电连接;还包括输出电阻R1,隔离开关电路包括隔离开关S2、隔离开关S4、隔离开关S6和隔离开关S8;隔绝高压电容电路包括隔绝高压电容C1、隔绝高压电容C2、隔绝高压电容C3和隔绝高压电容C4;正弦波信号源通过输出电阻R1与隔离开关S2电连接,隔离开关S2、隔离开关S4、隔离开关S6和隔离开关S8分别与隔绝高压电容C1、隔绝高压电容C2、隔绝高压电容C3和隔绝高压电容C4电连接,栅极源极短路可控制开关S9的栅极分别与隔绝高压电容C3和隔绝高压电容C4电连接,栅极源极短路可控制开关S9的漏极分别与隔绝高压电容C1和隔绝高压电容C2电连接;隔绝串扰开关电路包括隔绝串扰开关S1、隔绝串扰开关S3、隔绝串扰开关S5和隔绝串扰开关S7;隔绝串扰开关S1、隔绝串扰开关S3、隔绝串扰开关S5和隔绝串扰开关S7一端均接地,隔绝串扰开关S1另一端与隔离开关S2和隔绝高压电容C1的节点电连接,隔绝串扰开关S3另一端与隔离开关S4和隔绝高压电容C2的节点电连接,隔绝串扰开关S5另一端与隔离开关S6和隔绝高压电容C3的节点电连接,隔绝串扰开关S7另一端与隔离开关S8和隔绝高压电容C4的节点电连接;还包括隔离电阻R2和隔离电阻R3;漏极高压电源VDS与隔离电阻R2一端电连接,隔离电阻R2另一端与栅极源极短路可控制开关S9的漏极电连接;漏极高压电源VDS与隔离电阻R3一端电连接,隔离电阻R3另一端与栅极源极短路可控制开关S9的源极电连接。

2.根据权利要求1所述的结电容参数测试电路,其特征是,交流电流取样电路A和交流电压取样电路V1的采样频率均为16.0MHz。

3.根据权利要求1所述的结电容参数测试电路,其特征是,直流电压取样电路V2的电压取样范围为0至1000V。

4.根据权利要求1或2或3所述的结电容参数测试电路,其特征是,漏极高压电源VDS的电压输出范围为0V至1000V。

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