[发明专利]金属玻璃微米箔电阻式应变传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器，其特征在于，包括：

基底；

位于所述基底上的金属玻璃敏感栅；

覆盖于所述金属玻璃敏感栅上的覆盖层；

其中：

所述金属玻璃敏感栅由金属玻璃箔材制备得到。

2.根据权利要求1所述的一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器，其特征在于，所述金属玻璃敏感栅由金属玻璃箔材采用光刻工艺制备得到。

3.根据权利要求1所述的一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器，其特征在于，所述金属玻璃敏感栅黏贴在所述基底与所述覆盖层之间，和/或，所述金属玻璃敏感栅的一端部设有焊接端头，用于连接引线。

4.根据权利要求1所述的一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器，其特征在于，所述金属玻璃箔材为钯基、铂基、金基、银基、钙基、镁基、铜基、铝基、钛基、钴基、镍基、锆基、铪基、钇基、镧系稀土或多组元基金属玻璃箔材中的一种。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器，其特征在于，所述金属玻璃箔材的厚度为1μm～20μm，和/或，所述引线为直径1μm～2mm的铜导线、银导线或铂导线。

6.根据权利要求1-4任一项所述的一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器，其特征在于，所述基底材料为酚醛树脂、环氧树脂、聚酰亚胺或玻璃纤维布；和/或，

所述覆盖层材料为酚醛树脂、环氧树脂、聚酰亚胺或玻璃纤维布。

7.一种根据权利要求1-6任一项所述的金属玻璃微米箔电阻式应变传感器的制备方法，其特征在于，包括：

制备基底；

在所述基底上光刻制备金属玻璃敏感栅；

在所述金属玻璃敏感栅上覆盖覆盖层；

在所述上述金属玻璃敏感栅的端部焊接引线。

8.根据权利要求7所述的一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器的制备方法，其特征在于，所述制备基底，是指：将金属玻璃箔材放在洁净的玻璃板上，然后将基底材料胶滴在金属玻璃箔材的表面，用隔离罩封住，自然晾干后从玻璃板上取下基底和固定在其上的金属玻璃箔，再固化处理后取出。

9.根据权利要求7所述的一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器的制备方法，其特征在于，在所述基底上光刻制备金属玻璃敏感栅，包括：

(a)涂覆光刻胶：在清洁的金属玻璃箔材的表面旋涂一层感光胶；

(b)前烘：将涂覆感光胶的金属玻璃箔材放入恒温干燥箱中烘焙处理；

(c)曝光：将预先制好的掩模版与感光胶紧密接触，用紫外线照射，受到光照的感光胶发生光化学反应，改变感光部分胶的性质，移走掩模版；

(d)显影：把曝光后的片子放在显影液中，曝光的地方由于感光胶发生了化学反应而变得不溶于有机溶剂，其他没曝光的地方则被显影液溶掉；

(e)蚀刻：将暴露出的金属玻璃箔材从上到下刻蚀，初腐后再进行细腐；

(f)去胶：将残留的感光胶通过去胶剂清洗去除。

10.根据权利要求9所述的一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器的制备方法，其特征在于，在所述步骤(d)、(e)之间，增加坚膜工序，即：将显影后的片子热烘，然后冷却，使基底与金属玻璃箔材之间粘结更牢固，以增基底的抗蚀能力。

11.根据权利要求9所述的一种金属玻璃微米箔电阻式应变传感器的制备方法，其特征在于，在上述金属玻璃敏感栅上覆盖覆盖层，是指：在得到的金属玻璃敏感栅的表面涂布一层胶粘剂，以填充栅丝间的空隙和在箔栅表面形成一薄层胶膜但露出敏感栅焊接端部，即为传感器的覆盖层。