[发明专利]掩模清洗液组合物及其制造方法、及掩模清洗液预组合物

权利要求书

1.一种掩模清洗液组合物，其包含含有羟基的碱性化合物、铵盐化合物、有机酸、过氧化氢和水。

2.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，相对于组合物总重量，包含：

含有羟基的碱性化合物0.1～10重量％；

铵盐化合物0.1～10重量％；

有机酸0.5～10重量％；

过氧化氢1～60重量％；及

余量的水。

3.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，所述含有羟基的碱性化合物为碱金属氢氧化物或四烷基氢氧化铵。

4.根据权利要求3所述的掩模清洗液组合物，其特征在于，所述碱金属氢氧化物为选自由氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化钙和氢氧化钡组成的组中的一种以上。

5.根据权利要求3所述的掩模清洗液组合物，其特征在于，所述四烷基氢氧化铵为选自由四甲基氢氧化铵(TMAH)、乙基三甲基氢氧化铵(ETMAH)、四乙基氢氧化铵(TEAH)、四丙基氢氧化铵(TPAH)和四丁基氢氧化铵(TBAH)组成的组中的一种以上。

6.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，其特征在于，所述铵盐化合物为选自由乙酸铵、硝酸铵、磷酸铵、磷酸二氢铵、磷酸氢二铵、硫酸铵、过硫酸铵、碳酸铵和碳酸氢铵组成的组中的一种以上。

7.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，其特征在于，所述有机酸为包含2个以上羧基的化合物。

8.根据权利要求7所述的掩模清洗液组合物，其特征在于，所述包含2个以上羧基的化合物为选自由柠檬酸、乙二胺四乙酸、草酸、酒石酸、苹果酸、丙二酸、马来酸、邻苯二甲酸、乳酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、癸二酸、富马酸、衣康酸、辛二酸、壬二酸和柠康酸组成的组中的一种以上。

9.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，其特征在于，所述有机酸为选自由磺基水杨酸、葡糖酸、柠檬酸、乙二胺四乙酸、乙酸、甲酸、草酸、酒石酸、苹果酸、丙二酸、马来酸、邻苯二甲酸、乳酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、癸二酸、富马酸、衣康酸、辛二酸、壬二酸和柠康酸组成的组中的一种以上。

10.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，所述掩模清洗液组合物用于去除选自由银、镁、钙、锂、铝和镱组成的组中的一种以上的金属或其合金。

11.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，所述掩模包含选自由铁、铬、镍、铜、硅以及它们的组合组成的组中的一种以上的材料或它们的合金。

12.根据权利要求11所述的掩模清洗液组合物，所述掩模包含不锈钢(STS)、Ni单质、Fe与Ni的合金、Cu或硅。

13.一种掩模清洗液预组合物，其包含含有羟基的碱性化合物、有机酸和水，具有用于与铵盐化合物和过氧化氢，或者与铵盐化合物、过氧化氢和水混合而使用的用途。

14.一种掩模清洗液预组合物，其包含铵盐化合物和过氧化氢，或者包含铵盐化合物、过氧化氢和水，具有用于与含有羟基的碱性化合物、有机酸和水混合而使用的用途。

15.一种掩模清洗液预组合物，其包含含有羟基的碱性化合物、铵盐化合物、有机酸和水，具有用于与过氧化氢或过氧化氢水混合而使用的用途。

16.一种掩模清洗液组合物的制造方法，其包括：

(a)制造包含含有羟基的碱性化合物、有机酸和水的掩模清洗液预组合物的步骤；

(b)制造包含铵盐化合物、过氧化氢和水的掩模清洗液预组合物的步骤；及

(c)将所述(a)步骤中制造的预组合物和(b)步骤中制造的预组合物混合的步骤。

17.一种掩模清洗液组合物的制造方法，其包括：

(a)制造包含含有羟基的碱性化合物、铵盐化合物、有机酸和水的掩模清洗液预组合物的步骤；及

(b)将所述(a)步骤中制造的预组合物和过氧化氢或过氧化氢水混合的步骤。