[发明专利]激光和空气吸入孔兼用激光加工扫描头

说明书

本发明涉及激光和空气吸入孔兼用激光加工扫描头，更详细地，涉及如下的激光和空气吸入孔兼用激光加工扫描头：在利用激光对加工对象物进行加工的过程中，防止因激光加工时所产生的烟雾而产生所照射的激光的散射来使得加工物的品质下降的情况，而本发明还包括：抽吸部，用于在激光加工时吸入空气来向外部排出烟雾；以及空气放大部，与上述抽吸部一同使用，在激光照射的同时还向抽吸部供给空气，随着所去除的烟雾的量及速度增加，从而可有效防止因烟雾而产生所照射的激光的散射来使得加工物的品质下降的情况。

技术领域

本发明涉及如下的激光和空气吸入孔兼用激光加工扫描头：通过在将空气与激光一同同时一次性地向激光照射空间供给后抽吸烟雾，从而可防止因激光加工时所产生的烟雾而产生激光散射来导致加工方面出现问题的情况。

背景技术

通常，各种显示面板用基板(玻璃基板等)包括形成加工面的前部面和不形成加工面的后部面。

其中，可使用利用激光对形成加工面的上述玻璃基板的边缘部分进行加工来蚀刻的激光蚀刻设备，以使加工面的周围变得干净且顺畅地进行后续工序。

此外，可使用通过激光对上述玻璃基板的所需部分进行加工穿孔的激光钻机设备等利用激光的扫描头等的设备。

在这种以往的扫描头设备中，在照射激光束的上述加工对象物的加工位置产生大量的烟雾(漂浮异物)，这种烟雾将再次吸附到上述基板来污染加工对象物，同时，因这种烟雾而产生所照射的激光束的散射，因而具有导致加工对象物的品质下降的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：韩国专利公报第1992-0010483号(1992年11月28日公告)。

发明内容

本发明是为了解决如上所述的问题而提出，本发明的目的在于，提供如下的激光和空气吸入孔兼用激光加工扫描头：在利用激光对加工对象物进行加工的过程中，为了去除激光加工时所产生的烟雾而设置有抽吸部的同时还设置有当照射激光时可与激光一同一次性地注入空气的空气放大部，来通过防止因烟雾而引起的激光散射，从而防止以往出现的因受烟雾所引起的激光散射影响而导致加工对象物品质下降的情况。

将在下述内容中对本发明的其他目的及优点进行说明，可通过本发明的实施例理解。并且，可通过在发明要求保护范围中所呈现的方法及组合来实现本发明的目的及优点。

本发明为用于解决如上所述的问题的方法，利用激光对加工对象物P进行加工的扫描头的特征在于，包括：扫描部10，利用多个光学单元向加工对象物P垂直照射激光；抽吸部20，在上述扫描部10与加工对象物P之间隔开设置于上述加工对象物P的上部，用于吸入空气并向外部排出，以防由于对加工对象物P进行激光加工而产生的烟雾引发激光散射；以及空气放大部30，在上述抽吸部20中对应设置于激光朝向加工对象物P贯通的中心孔22的上部，用于向被照射激光的中心孔22供给激光的同时向上述抽吸部20的内部供给空气，使得上述抽吸部20吸入的烟雾的吸入量及吸入速度增加，来使防止激光散射效果增加。

如上所述，本发明具有如下的效果，即，抽吸并去除激光加工时所产生的烟雾，从而可事先防止因激光照射时所产生的烟雾而产生散射来使得加工对象物的品质下降的情况。

并且，本发明具有如下的效果，即，当进行激光加工时，可与激光照射一同一次性地注入空气，来抽吸并去除烟雾，使所吸入的烟雾的量增加以及速度增加，从而使防止激光散射效果增加。

附图说明

图1为示出本发明的激光和空气吸入孔兼用激光加工扫描头的一实施例的主视图。

图2为图1的立体图。

图3为示出本发明的抽吸部和空气放大部的一实施例的立体图。