[发明专利]一种集成PLC平面波导型器件的光收发模块

权利要求书

1.一种集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：包括至少一个平面光波导回路芯片、至少一个具有高度的支撑盖板、至少一个垂直腔面发射激光器、至少一个面接收光探测器以及至少一块印刷电路板；其中，所述平面光波导回路芯片支撑于支撑盖板上；所述支撑盖板和印刷电路板相平行设置，两者相粘接；所述垂直腔面发射激光器和面接收光探测器分别安装于印刷电路板上，并和平面光波导回路芯片连接并实现信号传输。

2.如权利要求1所述的集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：所述平面光波导回路芯片包括至少一个矩形氧化硅光波导、至少一个45°抛光端面、至少一个0°或8°抛光端面、至少两个1*N阵列波导光栅AWG结构或两个N*N直波导阵列结构。

3.如权利要求2所述的集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：所述矩形氧化硅光波导由高折射率氧化硅芯层和位于其周围的低折射率氧化硅包层组成。

4.如权利要求2所述的集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：所述45°抛光端面由矩形氧化硅波导切割并研磨而成，切割后的截面与水平面成45°夹角；且所述45°抛光端面上镀有反射金属膜；所述45°抛光端面先由划片机在平面光波导回路芯片上切割然后进行抛光，再然后采用真空电子束热蒸发工艺在45°端面上镀上金属膜。

5.如权利要求2所述的集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：所述0°或8°抛光端面由矩形氧化硅波导切割并研磨而成，切割后的截面与垂直面成0°或8°夹角，该端面与外界光纤或光纤阵列连接。

6.如权利要求2所述的集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：所述两个1*N阵列波导光栅AWG结构分别和垂直腔面发射激光器、面接收光探测器信号连接；所述N＝4。

7.如权利要求2所述的集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：所述两个N*N直波导阵列结构分别和垂直腔面发射激光器、面接收光探测器信号连接；所述N＝4。

8.如权利要求6或7所述的集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：所述两个1*N阵列波导光栅AWG结构或两个N*N直波导阵列结构中的一个结构用于发射信号光的耦合及传输，另一个结构用于接收信号光的耦合及传输，且发射光信号和接收光信号都以单模的形式在矩形波导芯层中传播。

9.如权利要求1所述的集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：所述支撑盖板的高度为150um-200um，其与印刷电路板之间利用UV胶进行黏合，然后利用紫外光、恒温箱进行固化处理；所述平面光波导回路芯片与位于PCB板上的垂直腔面激光器和面接收探测器之间用UV胶进行填充，然后利用紫外光进行固化处理。

10.如权利要求1所述的集成PLC平面波导型器件的光收发模块，其特征在于：所述印刷电路板上进一步连接有接收驱动芯片、发射控制芯片以及微控制器芯片；所述接收驱动芯片和面接收光探测器信号连接；所述发射控制芯片和垂直腔面发射激光器信号连接；所述微控制器芯片分别控制所述接收驱动芯片、面接收光探测器、发射控制芯片和垂直腔面发射激光器。