[发明专利]防溅射分子沉骨架

权利要求书

1.一种防溅射分子沉骨架，其特征在于，包括圆筒形防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶骨架主体；

所述圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；所述第一冷却管呈环形，且所述第一冷却管有多个，多个所述第一冷却管的轴线方向重合；多个所述第一冷却管通过所述第一管和所述第二管固定连接，形成圆筒形的侧部，且所述第一管、所述第二管和多个所述第一冷却管之间均相连通；所述第一管上连接有第一进液口，所述第二管上连接有第一出液口；

所述底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；所述第三管上连接有第二进液口，所述第四管上连接有第二出液口；所述第二冷却管有多个，且多个所述第二冷却管沿垂直于所述第二冷却管的长度方向间隔设置；多个所述第二冷却管通过所述第三管和所述第四管固定连接，且所述第三管、所述第四管和多个所述第二冷却管之间均相连通；

还包括连接管；所述连接管呈环形，所述第二进液口和所述第二出液口均和所述连接管连通；

所述连接管通过所述第一管和所述第二管与所述第一冷却管连通，且所述连接管的轴线方向与所述圆筒形的轴线方向重合，所述连接管令所述底端防溅射靶骨架主体形成所述圆筒形的底部。

2.根据权利要求1所述的防溅射分子沉骨架，其特征在于，多个所述第一冷却管沿所述第一管的轴线方向均匀设置。

3.根据权利要求1所述的防溅射分子沉骨架，其特征在于，所述第一管和所述第二管的轴线方向平行；

所述第一管和所述第二管分别连接于所述第一冷却管沿径向方向的两端，且所述第一管和所述第二管分别连接于所述连接管沿径向方向的两端。

4.根据权利要求3所述的防溅射分子沉骨架，其特征在于，所述防溅射分子沉骨架为卧式结构，且所述第一管位于所述第二管的底端。

5.根据权利要求4所述的防溅射分子沉骨架，其特征在于，所述第三管位于所述第四管的底端；

所述第二进液口位于所述第三管沿延伸方向的中间位置；和/或，所述第二出液口位于所述第四管沿延伸方向的中间位置。

6.根据权利要求1所述的防溅射分子沉骨架，其特征在于，还包括进液总管；

所述进液总管设置于所述第一管远离所述第二管的一侧，且所述进液总管的轴线方向与所述第一管的轴线方向平行；

沿所述圆筒形的轴线方向，所述圆筒形具有相对应的第一端和第二端，且所述底端防溅射靶骨架主体位于所述第二端；

多个所述第一冷却管中靠近所述第一端的第一冷却管为第一端管，所述连接管为第二端管；

所述第一管靠近所述第一端管的位置与所述进液总管连通，且所述第一管靠近所述第二端管的位置与所述进液总管连通；

所述进液总管上连接有所述第一进液口。

7.根据权利要求6所述的防溅射分子沉骨架，其特征在于，所述进液总管通过第一软管连通有进液管；

所述第二管通过第二软管连通有出液管；

所述进液管上设置有所述第一进液口；所述出液管上设置有第一出液口。

8.根据权利要求1所述的防溅射分子沉骨架，其特征在于，所述第三管的中心线和所述第四管的中心线均呈圆弧状；

所述第三管的中心线和所述第四管的中心线共圆，且所述第三管和所述第四管对称设置于所共圆的圆形沿径向方向的两端；

所述第二冷却管沿延伸方向的两端分别连通所述第三管和所述第四管；

所述连接管的轴线方向和所述所共圆的圆形的轴线方向重合。

9.根据权利要求8所述的防溅射分子沉骨架，其特征在于，所述第二冷却管包括冷却直管；

所述冷却直管沿轴线方向的一端通过第一连接弯管连通所述第三管，另一端通过第二连接弯管连通所述第四管；

且多个所述第二冷却管的冷却直管沿所述第三管的延伸方向均匀设置。

10.根据权利要求1-9任一项所述的防溅射分子沉骨架，其特征在于，所述第三管上还设置有缓冲管；

所述缓冲管与所述第二进液口连通。