[发明专利]一种八边形多晶硅铸锭的制造方法及其制造设备

权利要求书

1.一种八边形多晶硅铸锭的制造方法及其制造设备，其特征在于包括以下步骤：

第一步：将硅料装入八边形石英坩埚中，然后在所述八边形石英坩埚的外周包覆多块侧护板及角护板，各侧护板及角护板围合形成八边形护板结构；

第二步：然后将带有八边形护板结构的八边形石英坩埚放入带有八边形保温结构的铸锭炉内；

第三步：对铸锭炉内部进行抽真空至1-3Pa；

第四步：通过电极、加热结构对石英坩埚内部的硅料进行加热至1175-1500℃；

第五步：通过电极、加热结构对对石英坩埚内部的硅料进行加热至充分熔化，加热温度为1540-1560℃；

第六步：对充分熔化后的硅料降温并进入晶体生长阶段，结晶的速度为0.8cm/h-1.5cm/h；

第七步：对结晶完成后的硅锭进行退火，退火温度为1100℃-1300℃；

第八步：最后将退火完成的硅锭冷却至400℃以下出炉。

2.一种利用权利要求1所述的八边形多晶硅铸锭的制造方法进行多晶硅铸锭制造的设备，其特征在于：包括炉壳(102)，在所述炉壳(102)的内部设置用于内置硅料(108)的石英坩埚(107)，在所述石英坩埚(107)的外周包覆护板结构，在所述护板结构的外围及顶部设置加热机构，在所述加热结构外围及顶部、底部分别布置保温结构，所述保温结构和加热结构组合形成热场，多个电极(101)贯穿所述炉壳(102)、保温结构并与所述加热结构连接。

3.如权利要求2所述的利用八边形多晶硅铸锭的制造方法进行多晶硅铸锭制造的设备，其特征在于：

所述加热结构包括设置于石英坩埚(107)上部的顶部加热器(106)，还包括设置于护板结构外周的侧面加热器(103)，在互为相邻的各侧面加热器(103)之间还通过螺杆螺母组件(110)连接角部加热器(109)，各侧面加热器(103)、角部加热器(109)围合形成八边形加热结构。

4.如权利要求2所述的利用八边形多晶硅铸锭的制造方法进行多晶硅铸锭制造的设备，其特征在于：所述保温结构包括设置于加热结构外围的侧面保温层(105)，在所述侧面保温层(105)的顶部覆盖上保温层(112)，在所述侧面保温层(105)的底部覆盖下保温层(113)，所述上保温层(112)、侧面保温层(105)、及下保温层(113)组合形成八边形保温结构。

5.如权利要求2所述的利用八边形多晶硅铸锭的制造方法进行多晶硅铸锭制造的设备，其特征在于：所述护板结构包括沿石英坩埚(107)外周围合的侧护板(104)及角护板(111)，所述角护板(111)由螺杆螺母组件(110)固接于相邻两块侧护板(104)之间，所述角护板(111)和侧护板(104)连接形成八边形护板结构。

6.如权利要求2所述的利用八边形多晶硅铸锭的制造方法进行多晶硅铸锭制造的设备，其特征在于：所述石英坩埚(107)为八边形石英坩埚。

7.如权利要求5所述的利用八边形多晶硅铸锭的制造方法进行多晶硅铸锭制造的设备，其特征在于：所述侧护板(104)、角护板(111)均由石墨材料制成。