[发明专利]一种基片固定装置

说明书

本发明公开了一种基片固定装置，载板的各个边框槽的深度不同，即各个边框槽的外侧边缘与对应的边框的内侧边缘的距离不尽相同，在实际放置基片时，可将基片向深度较小的边框槽靠近或贴紧放置，即首先保证基片在深度较小边框槽处无效边被遮挡，即可保证各个无效边被遮挡，如此即可避免基片放置到基片槽中之后的遮挡无效边区域变小、甚至遮挡失败的情况，满足镀膜要求；另外，在基片与压块之间设置弹性件，可保证始终对基片实现压紧，从而解决基片厚度的差异会造成基片无法同时压紧的情况。

技术领域

本发明涉及太阳能电池加工领域，尤其涉及一种基片固定装置。

背景技术

物理气相沉积(PVD)是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。PVD基本方法一般包括：真空蒸发、溅射、离子镀等。

传统的半导体或太阳能设备中，经常有基片镀膜时，需要对基片四周无效边(无需镀膜)进行遮挡的需求，一般通过方框形的载板遮挡基片四周的无效边，中间部分则为待镀膜区域，而载板上设置放置基片的基片槽，且通过压块进行固定，载板和压块之间可以装载若干片基片，通过这样一个结构实现基片的固定和镀膜无效边的遮挡。

在通常的应用中，载板上的基片槽的尺寸一般比基片本身略大，在GaAs柔性太阳能电池片的生产中，柔性太阳能电池片是从GaAs基片上经过特定生长程式后剥离而来，而GaAs基片在每一轮使用后，会经过抛光和清洗，反复使用，从而达到高效利用、降低成本的目的。但是多次循环使用后，GaAs基片会出现尺寸磨损后变小的情况，且由于工况和个体差异的客观存在，基片变小的情况会存在差异。

这样，镀膜的对象就是若干个大小均有差异的GaAs基片，基片大小的差异会造成无法满足无效边遮挡需求，无法达到镀膜要求。如当较小的基片放置到基片槽中之后，会发现遮挡无效边区域变小，甚至遮挡失败的情况。

发明内容

本发明的目的是提供一种基片固定装置，以解决现有技术中的问题，保证载板能够对基片的无效边进行有效遮挡。

本发明提供了一种基片固定装置，所述基片固定装置包括：

由四个边框围成的载板，所述边框围成与待镀膜区域对应的基片槽，沿所述基片槽的边缘在所述边框与基片相邻的一侧分别设置有对应的边框槽，所述边框槽用于承载所述基片；

至少一个边框槽的深度小于其他边框槽的深度。

作为优选，所述基片固定装置还包括压块，所述压块设置在所述基片与所述待镀膜区域相反的一侧，且所述压块与所述载板压合，用于压紧固定基片。

作为优选，所述载板为正方形，相邻两个所述边框槽深度相等，且小于其他两个所述边框槽深度。

作为优选，所述基片固定装置还包括弹性件，所述弹性件设置在所述基片与所述压块之间。

作为优选，所述弹性件上表面与所述基片表面贴合，将所述基片压紧在所述载板上。

作为优选，所述弹性件包括基座、弹簧、压柱，所述基座设置在所述压块上，所述压柱与所述基片相贴，所述弹簧位于所述基座与所述压柱之间。

作为优选，所述压块上设置有安装槽，所述基座位于所述安装槽内。

作为优选，所述弹性件还包括顶部设置有通孔的安装罩，所述安装罩扣装在所述压柱上，所述压柱从所述通孔伸出并与所述基片相贴，所述安装罩的外壁设置有外螺纹，所述安装槽的内壁设置有内螺纹，所述安装罩与所述安装槽螺纹配合。

作为优选，所述安装罩伸入所述安装槽的一端的端部设置有限位卡边，所述安装槽的内壁设置有限位卡槽，所述限位卡边与所述限位卡槽配合。