[发明专利]陀螺仪传感器、电子设备、便携式电子设备以及移动体

说明书

本发明涉及陀螺仪传感器、电子设备、便携式电子设备以及移动体。陀螺仪传感器包括：第一信号生成部，生成第一驱动信号以及相位与所述第一驱动信号相差180度的第二驱动信号；可动检测部，根据所述第一驱动信号以及所述第二驱动信号振动，并根据角速度位移；固定检测部，与所述可动检测部相对配置；以及第二信号生成部，生成与所述第一驱动信号或者所述第二驱动信号相同相位的信号并施加于所述固定检测部。

技术领域

本发明涉及陀螺仪传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，开发出了利用硅MEMS(Micro Electro Mechanical System：微机电系统)技术检测角速度的陀螺仪传感器。陀螺仪传感器迅速普及到例如数字静态照相机(DSC)的抖动校正功能、汽车的导航系统、游戏机的运动感应功能等用途中。

在这样的陀螺仪传感器中，有时会伴随驱动振动而激励检测振动(正交相位(Quadrature))。

在陀螺仪传感器中，振动体的驱动振动理想的是垂直于检测方向，只要没有角速度的输入，振动体就不会向检测方向位移。但是，由于制造工艺中出现的结构的非对称性等(例如，本来应为正方形或长方形的截面形状形成为平行四边形等时等)，在振动体驱动振动时，有时会产生检测方向的位移分量(振动泄漏)。将其称为正交相位。

并且，在陀螺仪传感器中，当振动体的驱动频率与检测频率偏离一些时，振动体的正交相位的振动通过共振现象获得增益(共振增益)。因此，振动体的正交相位的振动的振幅增大，不能忽视其影响。

在此，共振现象是指，当从外部对振动体施加振动时，随着所施加的振动接近振动体的共振频率，振幅急剧增大的现象。将通过该共振获得的增益称为共振增益(レゾナンスゲイン)。即、振动体的正交相位的振动与驱动振动共振而被放大。

例如，在专利文献1的陀螺仪传感器中，为了抑制质量块在检测电极上方前后振动时，质量块向正交方向运动(正交相位的振动)，设有静电补偿质量块在正交方向上的运动的多个正交方向转向电压部件。

专利文献1：日本特开2007-304099号公报

但是，在专利文献1的陀螺仪传感器中，一定要设置多个正交方向转向电压部件，存在元件构成复杂化的问题。

发明内容

本发明的若干个方面的目的之一在于，提供能够以简单的构成降低正交相位影响的陀螺仪传感器。并且，本发明的若干个方面的目的之一在于，提供包括上述陀螺仪传感器的电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述技术问题中的至少一部分而做出的，可以通过下面的方式或者应用例实现。

[应用例1]

根据本应用例的陀螺仪传感器包括：第一信号生成部，生成第一驱动信号以及第二驱动信号，所述第二驱动信号的相位与所述第一驱动信号的相位相差180度；可动检测部，根据所述第一驱动信号以及所述第二驱动信号而振动，并根据角速度而位移；固定检测部，与所述可动检测部相对配置；以及第二信号生成部，生成与所述第一驱动信号或者所述第二驱动信号相同相位的信号并施加于所述固定检测部。

在这样的陀螺仪传感器中，第二信号生成部向固定检测部施加与第一驱动信号或者第二驱动信号相同相位的信号，从而降低可动检测部的正交相位的振动。进一步地，在这样的陀螺仪传感器中，例如无需增加用于抑制可动检测部的正交相位的振动的电极等部件即可抑制正交相位的振动。因此，根据这样的陀螺仪传感器，通过简单的构成即可降低正交相位的影响。

[应用例2]

在根据本应用例的陀螺仪传感器中，也可以是，所述第二信号生成部具有选择部，所述选择部选择从所述第一信号生成部输入的所述第一驱动信号和所述第二驱动信号中任一驱动信号。