[发明专利]带电粒子束装置

说明书

本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；以及计算机，其在由试样片移置单元对试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使试样片移置单元所保持的试样片灭失的控制。

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置。

背景技术

以往，公知有如下的装置：取出通过向试样照射由电子或离子构成的带电粒子束而制作出的试样片，并将试样片加工成适于扫描电子显微镜和透射电子显微镜等的观察、分析、以及计测等各种工序的形状(例如，参照专利文献1、2)。

专利文献1：日本特开平5-052721号公报

专利文献2：日本特开2008-153239号公报

在本说明书中，所谓“采样”是指取出通过向试样照射带电粒子束而制作出的试样片并将该试样片加工成适于观察、分析、以及计测等各种工序的形状，并且，具体而言，是指将从试样通过会聚离子束的加工而形成的试样片移置到试样片支架上。

以往，不能说能够自动地进行试样片的采样的技术已经充分实现。

作为阻碍自动且连续地重复进行采样的原因，存在如下的情况等：在通过试样片的取出和输送中所使用的针将试样片取出之后为了将试样片移置到试样片支架上而执行的图像识别处理等处理中发生异常的情况下，会中断向下一工序的转移。

例如，在根据图像对移置有试样片的试样片支架的柱状部的形状好坏进行判定时，在无法提取出柱状部的边缘(轮廓)的情况下，图像识别处理会停止。另外，例如在起因于柱状部的变形、破损、以及缺失等而无法正常地实施柱状部的模板匹配的情况下，会中断向用于对试样片进行移置的下一工序的转移。在这样的情况下，会阻碍作为本来目的的自动且连续地重复进行采样。

发明内容

本发明就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种带电粒子束装置，其能够自动地执行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。

(1)本发明的一个方式是带电粒子束装置，该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其特征在于，该带电粒子束装置具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动所述试样；试样片移置单元，其保持从所述试样分离和取出的所述试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有所述试样片的试样片支架进行保持；以及计算机，其在由所述试样片移置单元对所述试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使所述试样片移置单元所保持的所述试样片灭失的控制。

(2)另外，关于本发明的一个方式，在(1)中所述的带电粒子束装置中，所述计算机通过向所述试样片移置单元所保持的所述试样片照射所述带电粒子束使所述试样片灭失。

(3)另外，关于本发明的一个方式，在(2)中所述的带电粒子束装置中，所述试样片移置单元具有保持从所述试样分离和取出的所述试样片并进行输送的针和驱动该针的针驱动机构，所述计算机设定用于限制在使所述试样片灭失时照射所述带电粒子束的区域的多个限制视野，以如下方式对所述带电粒子束照射光学系统和所述针驱动机构进行控制：从所述多个限制视野中的设定在远离所述针的区域中的限制视野依次切换到设定在接近所述针的区域中的限制视野并照射所述带电粒子束。

(4)另外，关于本发明的一个方式，在(3)中所述的带电粒子束装置中，所述计算机将所述多个限制视野中的接近所述针的区域的限制视野设定为与远离所述针的区域的限制视野相比相对较小，所述计算机将针对所述多个限制视野中的接近所述针的区域的限制视野的所述带电粒子束的射束强度设定为与针对远离所述针的区域的限制视野的所述带电粒子束的射束强度相比相对较弱。