[发明专利]棱镜的镀膜方法

说明书

本发明公开了一种棱镜的镀膜方法，包括以下步骤：a)清洗基体；b)固定；c)蒸镀前准备；d)镀制；e)取件。本发明对棱镜的表面先进行除尘除油，然后再采用真空蒸发技术对棱镜的表面进行镀膜，方便控制镀膜的厚度，镀膜效果好。

技术领域

本发明涉及光学设备领域，尤其涉及一种棱镜的镀膜方法。

背景技术

近年来,在晶体表面镀制光学薄膜,己经广泛应用于各种光学薄膜器件上。棱镜是由透明材料(如玻璃、水晶等)做成的多面体，在光学仪器中应用很广。制作棱镜时,为了减少反射损耗,增大透过率,需在表面沉积增透膜。

发明内容

为克服上述缺点，本发明的目的在于提供一种棱镜的镀膜方法。

为了达到以上目的，本发明采用的技术方案是：一种棱镜的镀膜方法，包括以下步骤：

a)清洗基体：采用清洗液将棱镜欲镀膜表面清洗干净；

b)固定：在较亮的灯光下仔细观察没有污痕后放入夹具中固定，将夹具安装在工件架上；

c)蒸镀前准备：清理真空室，准备膜料并放置于水冷坩埚中，将水冷坩埚放置与基台上，将基台与工件架放入真空室内，将真空室抽真空，加热夹具，旋转工件架，预熔膜料；

d)镀制：达到要求的压强时便可打开挡板进行蒸镀，当膜达到需要的厚度时使用挡板挡住蒸发源，镀制完成；

e)取件：镀制完成后即停止加热并关闭高压阀门，让样品自然冷却，待真空室温度基本达到室温时充入空气后取出样品进行测量。

优选地，所述步骤a)中所述清洗液采用碳原子数为2-6的醇、碳原子数为 2-6的醚或其混合物。

优选地，所述步骤a)中所述清洗液采用酒精和乙醚的混合液，所述酒精和乙醚的比例为1-4，所述酒精和乙醚的质量比浓度均为80％-100％，清洗时间为 1-10分钟。

优选地，所述步骤c)中的所述膜料为MgF₂。

优选地，所述步骤d)中所述压强应低于6×10^-3Pa。

本发明的有益效果：采用上述步骤，对棱镜的表面先进行除尘除油，然后再采用真空蒸发技术对棱镜的表面进行镀膜，方便控制镀膜的厚度，镀膜效果好。

具体实施方式

下面对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。

【实施例一】

本实施例中的一种棱镜的镀膜方法，包括以下步骤：

a)清洗基体：采用清洗液将棱镜欲镀膜表面清洗干净；

b)固定：在较亮的灯光下仔细观察没有污痕后放入夹具中固定，将夹具安装在工件架上；

c)蒸镀前准备：清理真空室，准备膜料并放置于水冷坩埚中，将水冷坩埚放置与基台上，将基台与工件架放入真空室内，将真空室抽真空，加热夹具，旋转工件架，预熔膜料；

d)镀制：达到要求的压强时便可打开挡板进行蒸镀，当膜达到需要的厚度时使用挡板挡住蒸发源，镀制完成；

e)取件：镀制完成后即停止加热并关闭高压阀门，让样品自然冷却，待真空室温度基本达到室温时充入空气后取出样品进行测量。

所述步骤a)中所述清洗液采用酒精和乙醚的混合液，所述酒精和乙醚的比例为3：1，所述酒精和乙醚的质量比浓度均为95％，清洗时间为5分钟。

在本实施例中，所述步骤c)中的所述膜料为MgF2。