[发明专利]机械手臂装置及机械手臂装置的控制方法

权利要求书

1.一种运送晶圆载具的一机械手臂装置的控制方法，其特征在于，所述机械手臂装置的控制方法用于在所述机械手臂装置夹持一晶圆载具前或是将所夹持的所述晶圆载具放下前，控制所述机械手臂装置的位置，所述机械手臂装置的控制方法包含：

一影像采集步骤：利用一影像采集模块采集所述晶圆载具的一预定范围的影像，以对应产生一影像采集信息；

一比对步骤：利用所述影像采集信息比对一晶圆盒影像信息，并据以产生一影像比对信息；

一距离感测步骤：利用设置于所述机械手臂装置的至少一距离感测单元对所述晶圆载具的至少两个位置进行距离感测，以对应产生至少两个距离感测信息；以及

一校正步骤：根据所述影像比对信息及至少两个所述距离感测信息控制所述机械手臂装置移动，以校正所述机械手臂装置的夹爪装置与所述晶圆载具的至少一辅助构件之间的相对位置，据以使所述机械手臂装置正确地夹持所述辅助构件。

2.根据权利要求1所述的机械手臂装置的控制方法，其特征在于，在所述影像采集步骤前，还包含有一移动步骤：接收一位置信息，根据所述位置信息控制所述机械手臂装置移动至所述晶圆载具的周围。

3.根据权利要求2所述的机械手臂装置的控制方法，其特征在于，所述机械手臂装置能活动地设置于一自动导引车；在所述移动步骤中，接收所述位置信息后，将根据所述位置信息控制所述自动导引车及所述机械手臂装置移动，以使所述自动导引车移动至设置有所述晶圆载具的一生产设备或一货架的附近，并使所述机械手臂装置移动至所述晶圆载具的周围。

4.根据权利要求1所述的机械手臂装置的控制方法，其特征在于，在所述距离感测步骤中，两个所述距离感测单元对所述晶圆载具进行感测的两个所述位置位于所述影像采集模块对所述晶圆载具进行影像采集的影像采集范围中。

5.根据权利要求1所述的机械手臂装置的控制方法，其特征在于，在所述校正步骤中，利用所述影像比对信息、多个所述距离感测信息及所述距离感测单元对所述晶圆载具所感测到的至少两个所述位置之间的距离来校正所述机械手臂装置的所述夹爪装置与所述辅助构件之间的相对位置。

6.根据权利要求5所述的机械手臂装置的控制方法，其特征在于，在所述距离感测步骤中，利用单个所述距离感测单元先后对所述晶圆载具的至少两个所述位置进行距离感测；在所述校正步骤中，利用所述影像比对信息、多个所述距离感测信息及单个所述距离感测单元对至少两个所述位置先后进行距离感测时移动的距离进行校正。

7.根据权利要求2所述的机械手臂装置的控制方法，其特征在于，在所述距离感测步骤中，利用两个所述距离感测单元同时对所述晶圆载具的两个所述位置进行距离感测。

8.一种机械手臂装置，其特征在于，所述机械手臂装置用以夹持一晶圆载具，所述机械手臂包含：

一机械手臂；

一夹爪装置，所述夹爪装置设置于所述机械手臂，所述夹爪装置包含：

两个夹爪结构；及

一活动组件，所述夹爪装置的两个所述夹爪结构能活动地设置于所述活动组件，所述活动组件电性连接一控制模块，所述控制模块能控制两个所述夹爪结构相对于所述活动组件彼此靠近或彼此远离；

一影像采集模块，所述影像采集模块用以采集所述晶圆载具的一预定范围的影像，从而能对应产生一影像采集信息；

至少一距离感测单元，所述距离感测单元设置于所述夹爪装置，所述距离感测单元用以感测所述晶圆载具的多个预定位置，从而能对应产生多个距离感测信息；以及

一控制模块，所述控制模块电性连接所述机械手臂、所述夹爪装置、所述影像采集模块及所述距离感测单元，所述控制模块能根据所述影像采集信息、多个所述距离感测信息及一数据库中的一预定位置信息对应控制所述夹爪装置，以使所述夹爪装置能正确地夹持所述晶圆载具。