[发明专利]ITO脆性材料的加工工具

权利要求书

1.一种ITO脆性材料的加工工具，其特征在于：其包括一主推器、一垫板、一支架；

所述主推器包括一力杆、连接固定于力杆一端的一圆盘、若干固定螺丝、通过螺丝固定在圆盘另一面的若干爪钩组，每一爪钩组包括若干长度相同的爪钩，不同爪钩组的爪钩的长度不同，每一爪钩包括一直部和一倾斜头；

所述垫板上包括前后贯穿的若干第一通孔；

所述支架包括第一端、第二端以及连接第一端和第二端的中间部，第一端和第二端上均包括前后贯穿的若干第二通孔以及在侧面开口的、与第二通孔连通的侧孔，支架还包括能够插入侧孔内的若干圆柱体卡塞，每一卡塞包括一倾斜贯穿的第三通孔，每一爪钩能够前后贯穿第一通孔、第二通孔插入第三通孔内，爪钩同时迫使卡塞向内挤压脆性材料从而固定脆性材料。

2.根据权利要求1所述的ITO脆性材料的加工工具，其特征在于：所述主推器包括长爪钩组和短爪钩组两个爪钩组。

3.根据权利要求2所述的ITO脆性材料的加工工具，其特征在于：每一爪钩组包括3个长度相同的爪钩。

4.根据权利要求3所述的ITO脆性材料的加工工具，其特征在于：所述长爪钩组的爪钩能够前后贯穿第一通孔、第一端上的第二通孔、第二端上的第二通孔插入第三通孔内。

5.根据权利要求3所述的ITO脆性材料的加工工具，其特征在于：所述短爪钩组的爪钩能够前后贯穿第一通孔、第一端上的第二通孔插入第三通孔内。

6.根据权利要求1所述的ITO脆性材料的加工工具，其特征在于：所述卡塞垂直插入侧孔内。

7.根据权利要求1所述的ITO脆性材料的加工工具，其特征在于：所述加工工具还包括一研磨器。

8.根据权利要求7所述的ITO脆性材料的加工工具，其特征在于：所述研磨器包括一研磨主轴以及一研磨砂轮。

9.根据权利要求1所述的ITO脆性材料的加工工具，其特征在于：所述脆性材料为旋转靶材工件。