[发明专利]真空阀的密封件及其制造方法

权利要求书

1.一种真空阀，用于调节体积流或质量流和/或用于气密地中断流动路径，所述真空阀包括：

-阀座(3)，其具有：

-限定了开口轴线(13)的阀开口(2)，和

-周向围绕阀开口(2)的第一密封面；

以及

-封闭元件(20，20’)，其具有与所述第一密封面对应的第二密封面(22)，其中

-所述第一密封面和/或所述第二密封面(22)具有至少双组分的材料复合物并且所述材料复合物具有金属支承体部件(31，41)和基于聚合物的密封材料(25，45)，并且

-所述密封材料(25，45)以限定的轮廓沿着密封面路线施加到所述支承体部件(31，41)上，

其特征在于，

-所述金属支承体部件(31，41)限定内部支承体区域(41a)和外部支承体区域(41b)，

-所述金属支承体部件(31，41)在所述第一密封面和/或所述第二密封面中的相应的密封面(32，22)的区域中具有多个延伸到所述内部支承体区域(41a)中的加深部(32a-32f，42)，其中每个所述加深部(32a-32f，42)分别限定体积和深度t，并且

-所述密封材料(25，45)被施加到所述支承体部件(31，41)上，使得

-在所述外部支承体区域(41b)上提供所述密封材料(25，45)的限定轮廓，并且

-所述密封材料(41’)的一部分至少延伸到所述支承体部件(31，41)的加深部(32a-32f，42)的一部分中并且将所述加深部在体积和/或深度方面填充达到至少50％，

其中，所述加深部(32a-32f，42)的体积被限定为使得：所述体积大于在所述加深部(32a-32f，42)中由经硬化的密封材料的体积所占据的体积。

2.根据权利要求1所述的真空阀，

其特征在于，

-填充其中一个加深部(32a-32f，42)方面的填充度为至少50％，和/或

-由所述加深部(32a-32f，42)限定的体积的至少50％被用所述密封材料填充。

3.根据权利要求1所述的真空阀，

其特征在于，

在所述内部支承体区域中的加深部(32a-32f，42)中的至少一个被成型为：

-单侧限界的柱形凹进部(32a-32b)，其具有限定的深度t，或

-单侧限界的柱形凹进部，其具有限定的深度t，具有相对于所述凹进部直径增大的端部区域(32c)，或

-具有底切部的加深部(32e)，或

-具有随着深度增加而宽度减小或增加的锥形或楔形的加深部(32f)。

4.根据权利要求1所述的真空阀，

其特征在于，

所述加深部(32a-32f，42)中的至少一个：

-在所述内部支承体区域中具有的深度t在200μm到500μm之间的范围内，和/或

-在所述加深部(32a-32f，42)中的至少一个的表面上具有内径d，所述内径在80μm到200μm之间的范围内，和/或

-在所述内部支承体区域中以内径d与深度t的比例成型，所述比例为d:t1:2。

5.根据权利要求1所述的真空阀，

其特征在于，

-多个所述加深部(32a-32f，42)的平均深度T在200μm到500μm之间的范围内，和/或

-多个所述加深部(32a-32f，42)的平均内径D在80μm到200μm之间的范围内，和/或

-多个加深部(32a-32f，42)的所述平均内径D与所述平均深度T的比例为D:T1:2。

6.根据权利要求1所述的真空阀，

其特征在于，

-所述密封材料在所述支承体部件上的粘附基本上通过将所述密封材料(25，45)机械夹紧到所述加深部(32a-32f，42)中而提供，和/或

-所述材料复合物不具有助粘剂。

7.根据权利要求1所述的真空阀，

其特征在于，

相应相邻的加深部(32a-32f，42)的间距a为100μma250μm。