[发明专利]基板传送装置

权利要求书

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括多个相互平行的转轴(1)，每一所述转轴(1)上分别装配一整体式螺旋形的滚轮(3)；

所述转轴(1)用于带动所述整体式螺旋形的滚轮(3)转动，所述整体式螺旋形的滚轮(3)用于承载基板(7)并带动所述基板(7)朝所述转轴(1)的转动方向的切向移动。

2.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述整体式螺旋形的滚轮(3)在所述转轴(1)上的延伸长度(L1)大于所述基板(7)在平行于所述转轴(1)轴向上的长度(L2)。

3.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，每一所述转轴(1)分别连接一驱动器件(5)。

4.如权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，相邻两转轴(1)上的两个整体式螺旋形的滚轮(3)的螺旋方向相同。

5.如权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，相邻两转轴(1)上的两个整体式螺旋形的滚轮(3)的螺旋方向相反。

6.如权利要求4所述的基板传送装置，其特征在于，所述相邻两转轴(1)上的两个整体式螺旋形的滚轮(3)的螺旋方向均为顺时针。

7.如权利要求4所述的基板传送装置，其特征在于，所述相邻两转轴(1)上的两个整体式螺旋形的滚轮(3)的螺旋方向均为逆时针。

8.如权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，在所述相邻两转轴(1)上的两个整体式螺旋形的滚轮(3)中，一整体式螺旋形的滚轮(3)的螺旋方向为顺时针，另一整体式螺旋形的滚轮(3)的螺旋方向为逆时针。

9.如权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述驱动器件(5)为马达。