[发明专利]高精度近红外激光光束质量测量分析装置

权利要求书

1.一种高精度近红外激光光束质量测量分析装置，其特征在于：包括激光功率可调衰减装置（1）、无像差聚焦透镜（2）、第一高反镜（3-1）、第二高反镜（3-2）、可移动导轨（4）、分光镜（5）、第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）；沿光路依次设置激光功率可调衰减装置（1）、无像差聚焦透镜（2）、第一高反镜（3-1）、第二高反镜（3-2）、分光镜（5）和第二电荷耦合元件相机（6-2）；第二高反镜（3-2）设置于第一高反镜（3-1）的反射光路上，且第一高反镜（3-1）和第二高反镜（3-2）均固定于可移动导轨（4）上；第一电荷耦合元件相机（6-1）设置于分光镜（5）的反射光路上，第二电荷耦合元件相机（6-2）设置于分光镜（5）的透射光路上；

待测激光束经激光功率可调衰减装置（1）衰减后，激光功率达到符合电荷耦合元件相机的功率探测范围，然后经过无像差聚焦透镜（2）后被聚焦，聚焦后的光束经由可移动导轨（4）上的第一高反镜（3-1）和第二高反镜（3-2）反射后入射到分光镜（5）上，经由分光镜（5）分光后，分别入射到第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）上；

所述第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）均与分光镜（5）的距离相等；

所述激光功率可调衰减装置（1）由两个或两个以上带有不同衰减比例的中性密度滤光片的旋转轮组成，旋转轮用齿轮连接马达，实现两个或两个以上的旋转轮上不同中性密度滤光片的自由组合；

所述分光镜（5）的分光比为1：1；

所述无像差透镜（2）由经过消像差及色差设计的双胶合透镜组成；

所述第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）的基底材料均为硅材质相机；

每个位置的测量光斑均是由第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）采集的光斑重建而成。

2.根据权利要求1所述的高精度近红外激光光束质量测量分析装置，其特征在于，上述光斑重建过程如下：

步骤1、找出第一电荷耦合元件相机（6-1）和第二电荷耦合元件相机（6-2）所采集光斑的最强点的位置，并以此位置为中心，在原始图像上截取一个边长为1000个像素点的正方形区域，并将该区域的光强归一化；

步骤2、将两幅截取好的区域相乘并开方；

步骤3、将步骤2中所获得的图像分别剪掉步骤1中所获得两幅图像，得到两幅新的图像，并将这两幅新图像上小于0的值统一变为0；

步骤4、将步骤2中获得的图像依次减去步骤3中获得的两幅图像，最后得到的图像即是在该位置重建出的图像。