[发明专利]真空镀膜腔内无线无源温度测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：包括置于真空室（6）外的射频读取器（5）、与射频读取器（5）通过接线盘连接的置于真空室（6）内的传输天线（4）和与传输天线（6）无线连接的置于真空室（6）内的传感器单元（2）。

2.根据权利要求1所述真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述置于真空室（6）外的射频读取器（5）与置于真空室（6）内的传输天线（4）通过接线盘连接。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述传输天（4）线可采用偶极子、单极子、螺旋、贴片等结构中的一种。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述传感器单元（2）贴装在所需镀膜材料表面、靶的侧面、或其他需要测量温度的真空室（6）内器件表面上。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述传感器单元（2）在被测器件表面设置至少一个，且各个传感器单元通过工作频段区分。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述传感器单元（2）集成了声表面波器件和天线，且所述声表面波器件采用二氧化硅、环氧树脂绝缘材料封装。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述声表面波器件的衬底材料为铌酸锂、硅酸镓镧、氮化铝、石英压电材料中的一种。

8.根据权利要求6所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述声表面波器件的电极材料为铂、铑、钼、铜、银、铝导电材料中的一种。

9.一种真空镀膜腔内无线无源温度测量装置的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

a）射频读取器（5）通过传输天线（4）发射一段射频脉冲给传感器单元（2）；

b）传感器单元（2）接收传输天线（4）电信号并转化为声波信号；

c）传感器单元（2）的温度变化将改变声波信号；

d）被改变的声波信号被传感器单元（2）转为新的电信号返回到传输天线（4）；

e）射频读取器（5）通过传输天线（4）读取新的电信号；

f）射频读取器（5）通过分析发送和接收的电信号区别得到传感器单元（2）温度变化信息。