[发明专利]一种神经刺激器及其制造方法

权利要求书

1.一种神经激器，其特征在于，包括基底，在所述基底上设置有若干金属柱，所述金属柱在基底的一面形成刺激部，所述基底为玻璃材质制成，在所述玻璃基底上还设置有由金属材料制成的焊盘结构。

2.根据权利要求1所述的一种神经激器，其特征在于，所述金属柱的密度大于15Pin/mm²。

3.根据权利要求1所述的一种神经激器，其特征在于，所述刺激部的高度为1μm-100μm。

4.根据权利要求1所述一种神经激器，其特征在于，所述刺激部呈锥柱型。

5.根据权利要求1所述的一种神经刺激器，其特征在于，所述焊盘结构设置在与所述刺激部相反的一面的基底上。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的一种神经刺激器，其特征在于，在所述基底上连接有处理芯片，所述处理芯片和所述基底通过倒装焊连接在一起。

7.一种神经刺激器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1:提供一金属衬底，在金属衬底上切割出若干金属柱；

S2：往金属衬底上切割出的若干金属柱填充玻璃，使得切割出的金属柱全部被玻璃覆盖；

S3：对进行玻璃填充的金属衬底进行双面减薄，将金属衬底切割面的玻璃覆盖层减薄直至露出金属柱为止，将金属衬底另外一面的金属衬底减薄去掉，直至到全部露出到玻璃基底面为止；

S4：对其中一面进行加工，使玻璃基底中的金属柱在玻璃平面形成刺激部，整体形成具有玻璃基底的刺激电极。

8.根据权利要求7所述的一种神经刺激器的制造方法，其特征在于，在所述步骤1中的切割方式为激光切割或者利用机械切割。

9.根据权利要求7所述的一种神经刺激器的制造方法，其特征在于，在所述步骤1中切割出的金属柱呈阵列排布。

10.根据权利要求7所述的一种神经刺激器的制造方法，其特征在于，在所述步骤1中还切割出了用来接线的焊盘结构。

11.根据权利要求7所述的一种神经刺激器的制造方法，其特征在于，所述步骤S1中的金属衬底采用钛或铂或铱或钽或金或其合金等具有生物相容性的金属材料制成。

12.根据权利要求7所述的一种神经刺激器的制造方法，其特征在于，所述填充玻璃的热膨胀系数和所述金属衬底的热膨胀系数相匹配。

13.根据权利要求7所述的一种神经刺激器的制造方法，其特征在于所述金属衬底的厚度在0.3mm-1.5mm之间，切割出金属柱的深度为200μm-1000μm，切割的金属柱的直径或者边长为50μm-150μm。

14.根据权利要求7所述的一种神经刺激器的制造方法，其特征在于，在所述步骤S2中，对金属柱填充玻璃的具体方法为：

A、选取一块玻璃基底，对其进行加热直至其材质软化；

B、将切割出若干金属柱的金属衬底的金属柱一面挤压嵌入进软化后的玻璃基底中，使得金属柱完全被玻璃基底包裹；

C、冷却成型。

15.根据权利要求7所述的一种神经刺激器的制造方法，其特征在于，在所述步骤S2中，对金属柱填充玻璃的具体方法为：

A、将玻璃加热至熔融状态的熔体状；

B、将熔融玻璃浇筑在金属衬底金属柱一面，使得液体玻璃将金属柱全部覆盖；

C、冷却成型。

16.根据权利要求7所述的一种神经刺激器的制造方法，其特征在于，在所述步骤S2中，对金属柱填充玻璃的具体方法为：

A、在金属衬底切割出金属柱一面填充玻璃粉；

B、将金属衬底和上面的玻璃粉进行加热使得玻璃粉成熔融状在金属衬底上形成一层熔融玻璃层。

C、冷却成型。