[发明专利]一种芯片封装超声波焊接工艺有效
申请号: | 201810045541.4 | 申请日: | 2018-01-17 |
公开(公告)号: | CN108321140B | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 杨吉明;匡华强;范宇;王彦彦;戴亮;卞敏龙;张正贵 | 申请(专利权)人: | 江苏海德半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/495;B23K20/10;B23K3/00 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 陈晓华 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 拉弧 芯片 超声波焊接工艺 芯片封装 框架管 斜向下 线弧 垂直 工艺设计 回流焊机 有效解决 回流焊 三角弧 短路 打点 放入 焊球 | ||
本发明公开了一种芯片封装超声波焊接工艺,包括以下步骤:步骤一,植焊球;步骤二,叠球;步骤三,拱丝打点;其中,在向上拱丝拉弧时,首先垂直拉弧一定高度,随后水平拉弧到超出芯片的边缘,最后斜向下拉弧到框架管脚,形成平台线弧;步骤四,将步骤三芯片放入到回流焊机,进行回流焊。本发明工艺中,在向上拱丝拉弧时,首先垂直拉弧一定高度,随后水平拉弧到超出芯片的边缘,最后斜向下拉弧到框架管脚,形成平台线弧,从而不仅能够避免产生三角弧的情况,同时还可以防止线弧形变接触到芯片,有效解决了芯片发生短路的问题。本发明工艺设计合理,适合推广使用。
技术领域
本发明涉及芯片封装制造技术领域,具体是一种芯片封装超声波焊接工艺。
背景技术
在芯片封装制造工艺中,通常都需要进行超声波焊接操作。目前,现有的芯片封装超声波焊接一般都是采用拉弧来进行拱丝打点,但是在拉弧的过程中,往往会出现三角弧的情况,这样就会降低产品的可靠性,产生不良品;而且,这些弧线会因为重力的缘故,发生形变,导致了弧线与芯片边缘发生接触,容易造成芯片短路,降低了产品的可靠性。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足,本发明的目的是提供一种可靠性更高的芯片封装超声波焊接工艺。
本发明通过是通过采用以下技术方案来实现上述目的的:
一种芯片封装超声波焊接工艺,包括以下步骤:
步骤一,植焊球:使用球焊机将锡丝进行加热,在芯片每个需要焊线的压区,预植一个锡球;
步骤二,叠球:使用球焊机将焊丝进行加热,在锡球上堆叠键合球;
步骤三,拱丝打点:堆叠键合球后,向上拱丝拉弧到框架管脚,形成线弧;
其中,在向上拱丝拉弧时,首先垂直拉弧一定高度,随后水平拉弧到超出芯片的边缘,最后斜向下拉弧到框架管脚,形成平台线弧;
步骤四,将步骤三芯片放入到回流焊机,进行回流焊。
优选的,在步骤三中,水平拉弧的线弧与斜向下拉弧的线弧之间的角度为100-145度,这样就可以能够实现斜向下拉弧的线弧对水平拉弧的线弧进行支撑。
优选的,在步骤三中,垂直拉弧的线弧高度在10±0.5mm。
优选的,在步骤三中,线弧的直径在22-25um之间。
优选的,在步骤一中,球焊机温度为200±2℃,所述锡球距离焊区中心点偏移量不超过0.3mm。
优选的,在步骤一中,球焊机的环路高度为5mm,反转高度为11mm,反转距离为79mm,反转角度为-20度。
优选的,所述芯片安装在框架基岛上,所述芯片与框架基岛之间设有胶。
本发明的有益效果是:相对于现有技术,本发明超声焊工艺中,在向上拱丝拉弧时,首先垂直拉弧一定高度,随后水平拉弧到超出芯片的边缘,最后斜向下拉弧到框架管脚,形成平台线弧。从而不仅能够避免产生三角弧的情况,同时还可以防止线弧形变接触到芯片,有效解决了芯片发生短路的问题。
附图说明
本发明将通过具体实施例并参照附图的方式进一步说明,其中:
图1是常规的超声波焊接工艺示意图;
图2是异常的超声波焊接工艺示意图;
图3是本发明超声波焊接工艺示意图。
图中:1.芯片,2.锡球,3.键合球,4.框架管脚,5.框架基岛,6.胶。
具体实施方式
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