[发明专利]一种石英砂提纯方法在审
申请号: | 201810048614.5 | 申请日: | 2018-01-18 |
公开(公告)号: | CN108033454A | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 苏明杰;董安华 | 申请(专利权)人: | 苏明杰 |
主分类号: | C01B33/12 | 分类号: | C01B33/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 638500 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英砂 提纯 方法 | ||
1.一种石英砂提纯方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)将石英砂清洗烘干,放置在密闭容器中进行预热至800-1050摄氏度;
(2)在密闭容器中充入保护气体,使用激光对预热后的石英砂进行辐照,辐照过程中同时开启超声波对准辐照中的石英砂;同时开启密闭容器的换气装置对容器内的保护气体进行循环;
(3)对辐照后的石英砂进行退火处理后刻蚀。
2.如权利要求1所述的石英砂提纯方法,其特征在于,所述保护气体为氩气。
3.如权利要求1所述的石英砂提纯方法,其特征在于,所述保护气体加入气压为1.2-2个大气压。
4.如权利要求1所述的石英砂提纯方法,其特征在于,所述步骤(3)中刻蚀厚度为1-300微米。
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