[发明专利]一种基于双脉冲激光液相烧蚀合成纳米晶的装置的烧蚀方法

权利要求书

1.一种基于双脉冲激光液相烧蚀合成纳米晶的装置的烧蚀方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：调节两条脉冲激光光路在两金属靶材上的辐射位置：

步骤1.1：打开脉冲激光器，调节激光器为单次触发脉冲模式并调节激光器电压；

步骤1.2：使脉冲激光经过衰减镜，且衰减镜可调控脉冲激光总能量；

步骤1.3：使光束经过半波片，通过偏振分光镜将激光分成光路一和光路二；

步骤1.4：使光路一经反射镜反射后垂直射入聚焦镜后聚焦在金属靶材A上；通过调节反射镜上精密光学镜架而实现辐射点的微调节，或移动靶材进行粗调节；

步骤1.5：使光路二经三棱镜改变方向后垂直射入聚焦镜后聚焦在金属靶材B上；通过三棱镜上精密光学镜架而实现辐射点的微调节，或移动靶材进行粗调节；

步骤1.6：通过调节聚焦镜实现两个激光辐射点的同时移动；

步骤1.7：重复步骤1.4、步骤1.5和步骤1.6，实现两条脉冲激光光路辐射点位置在双靶材上的随意移动；

步骤2：调节两条烧蚀脉冲激光光路的能量比：

步骤2.1：打开Nd:YAG调Q脉冲激光器，调节激光器为单次触发脉冲模式并调节激光器电压；

步骤2.2:通过外置能量计测量发射脉冲激光的总能量；通过外置能量计测量经三棱镜反射后辐射在Sn靶上的能量，通过外置能量计测量经发射镜反射后的辐射在Zn靶上的能量；

步骤2.3：旋转半波片，调整经偏振分光镜后的两条光路的能量比为A:B；

步骤2.4：调节脉冲激光器电压，重复步骤2.2和步骤2.3，确定烧蚀Sn靶和Zn靶的脉冲激光能量；

步骤3：通过高速摄像法探究双脉冲机理过程：

步骤3.1：调节相机聚焦位置，使相机聚焦在双靶材夹缝两端的激光辐射点处；

步骤3.2：调节激光器为单次触发脉冲模式；

步骤3.3：打开高速摄像机，设置拍摄速度、快门速度和分辨率；触发激光器单次触发脉冲开关，拍摄双脉冲激光液相烧蚀的整个机理过程，保存数据；

步骤4：调节双脉冲激光烧蚀双金属靶材，制备活性前驱体：

步骤4.1：打开激光器，调节脉冲激光器为Q-Switch连续脉冲模式；

步骤4.2：调节脉冲激光器频率；

步骤4.3：触发脉冲激光器Q-Switch连续脉冲开关，设置烧蚀时间；

步骤4.4：烧蚀结束，关闭激光器，收集活性前驱体产物。