[发明专利]一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机

权利要求书

1.一种大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，其特征在于，它包括真空腔室（1）、连续送料机构（2）、水平横向输送机构（3）、蒸发沉积机构（4）及水平纵向移动机构（5）；所述真空腔室（1）为后门板上设有抽真空装置（104）、顶部设有送料机构座（106）、波纹管槽及纵向电机座（107）的矩形腔体；

所述连续送料机构（2）由送料支座（201）、弹性波纹管（202）、送料电机（203）及储料腔（205）构成；所述储料腔（205）为一端设有密封法兰上盖（207）及密封法兰螺母（206）、另一端设有阀门开关（208）及波纹管接口的筒体，筒体外侧径向铰接于送料支座（201）上，送料电机（203）设于送料支座（201）上，送料电机（203）的输出轴经曲柄连杆（204）与储料腔（205）的波纹管接口铰接，弹性波纹管（202）的一端设于储料腔（205）的波纹管接口上；

所述蒸发沉积机构（4）由保温石墨（401）、螺旋气化管（404）、沉积腔（405）、绝缘石英固定板（409）及石墨加热棒（408）构成；所述沉积腔（405）的周边设有数个惰性气体孔、底部设有沉积喷头（406）；所述保温石墨（401）由三瓣围合成一空心腔体，沉积腔（405）设于空心腔体底部；所述螺旋气化管（404）设于空心腔体内，螺旋气化管（404）的进口端伸出空心腔体顶部，螺旋气化管（404）的出口端设于沉积腔（405）内；所述保温石墨（401）与石英固定板（409）连接；所述石墨加热棒（408）为数根，分别插接在保温石墨（401）腔体的四角部位，石墨加热棒（408）的外侧套装有绝缘氮化硼管（407）；

所述水平横向输送机构（3）为横向电机（305）驱动的链条传动机构；采用两轴、四链轮（301）及两链条（302）平行设置的链条传动机构，其中一轴为主动轴，由横向电机（305）驱动，实现基板（6）的水平横向运动；

所述水平纵向移动机构（5）为纵向电机（501）驱动的丝杆（504）及连接板（508）机构，所述纵向电机（501）的输出端为带轮传动，带轮上设有丝杆（504），连接板（508）上设有滑套、螺母及冷却水道，连接板（508）设于滑杆（506）上，且连接板（508）的滑套与滑杆（506）滑配；纵向电机（501）经带轮及丝杆（504）与连接板（508）上的螺母啮合，连接板（508）的滑套在滑杆（506）上滑移，通过连接板（508）带动蒸发沉积机构（4）进行水平纵向移动，实现蒸发沉积机构（4）相对于基板（6）的水平纵向运动；

所述水平横向输送机构（3）设于真空腔室（1）内的底面上；

所述水平纵向移动机构（5）的纵向电机（501）设于真空腔室（1）的纵向电机座（107）上，滑杆（506）连同连接板（508）设于真空腔室（1）内，且滑杆（506）与真空腔室（1）连接；

所述蒸发沉积机构（4）设于真空腔室（1）内，且绝缘石英固定板（409）与水平纵向移动机构（5）的连接板（508）连接；

所述连续送料机构（2）的送料支座（201）设于真空腔室（1）的送料机构座（106）上，弹性波纹管（202）的另一端穿过波纹管槽与蒸发沉积机构（4）上螺旋气化管（404）的进口端连接。

2.根据权利要求1所述的一种大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，其特征在于真空腔室（1）矩形腔体上还设有前门板（101）、右门板（102）及左门板（103）。