[发明专利]一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器

说明书

本发明提供一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，包括顶电极、压电层和底电极构成的层状结构，以及基板；底电极和基板之间设有反射界面；所述的层状结构的外轮廓为一条曲线和至少一条直线线段连接而成的封闭线型。本发明所述的层状结构的外轮廓只有一个曲线面，其它均为平面，从而形成一个非对称的几何图形，使得形成的横向驻波在反射回来时均不在同一位置，从而分散和抵消；本发明通过限定层状结构的形状，从而达到抑制横向驻波的目的，没有增加新的工艺，控制了器件的制作成本，使产品开发之效益最大化。

技术领域

本发明属于谐振器领域，具体涉及一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器。

背景技术

随着通讯频段的演进，其所需求的频率越来越高，在高频率的需求下，其谐振器需要提供更好的Q值才能减少滤波器的损耗，得到一具更高质量的滤波响应。通过抑制横向驻波来提升Q值的方式有很多，然而大部分都要额外增加工艺的层数，这样势必会增加器件的制作成本。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，在不额外增加工艺层数中进行改进，既能达到抑制横波效应的目的，又控制了器件的制作成本。

本发明为解决上述技术问题所采取的技术方案为：一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，包括顶电极、压电层和底电极构成的层状结构，以及基板；其特征在于：所述的底电极和基板之间设有反射界面；所述的层状结构的外轮廓为一条曲线和至少一条直线线段连接而成的封闭线型。

按上述方案，所述的曲线为一凸或一凹的线型。

按上述方案，所述的直线线段为2条以上，相邻的直线线段之间的夹角角度大于0度、小于180度。

按上述方案，所述的反射界面为底电极和基板之间的空气腔。

按上述方案，所述的反射界面由高声阻与低声阻材料交叠形成。

按上述方案，所述的压电层采用具有压电特性的材料。

按上述方案，所述的具有压电特性的材料为AlN、AlScN、ZnO、PZT、LiNo₃或LTaO₃ 等。

本发明的有益效果为：所述的层状结构的外轮廓只有一个曲线面，其它均为平面，从而形成一个非对称的几何图形，使得形成的横向驻波在反射回来时均不在同一位置，从而分散和抵消；本发明通过限定层状结构的形状，从而达到抑制横向驻波的目的，没有增加新的工艺，控制了器件的制作成本，使产品开发之效益最大化。

附图说明

图1为本发明一实施例的剖视图。

图2为本发明又一实施例的剖视图。

图3为本发明再一实施例的剖视图。

图4为本发明一实施例的俯视图。

图5为本发明又一实施例的俯视图。

图6为本发明再一实施例的俯视图。

图中：101-顶电极，102-压电层，103-底电极，104-空气腔，105-基底；201-顶电极，202-压电层，203-底电极，204-空气腔，205-基底；301-顶电极，302-压电层，303-底电极，305-基底，306-布拉格反射镜；401-顶电极，4011-曲线，4012-直线段，402-压电层，403-底电极；501-顶电极，5011-曲线，5012-第一直线段，5013-第二直线段，502-压电层，503-底电极；601-顶电极，6011-曲线，6012-第一直线段，6013-第二直线段，6014-第三直线段，602-压电层，603-底电极。

具体实施方式

下面结合具体实例和附图对本发明做进一步说明。