[发明专利]柔性背板及其制备方法、显示设备

说明书

本发明实施例公开了一种柔性背板及其制备方法、显示设备，该柔性背板包括：第一柔性材料层，包括若干沟槽；应力减缓材料，填充于所述第一柔性材料层的沟槽内；表面层，位于所述填充了应力减缓材料的第一柔性材料层上。本发明实施例所提供的柔性背板及其制备方法、显示设备，通过在作为柔性背板的衬底的第一柔性材料层上开设沟槽，并在沟槽内填充应力减缓材料，能够有效减小第一柔性材料层的应力，使得柔性背板从基板上剥离后，也不会轻易翘曲，保证柔性背板的正常使用。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种柔性背板及其制备方法、显示设备。

背景技术

目前，一般通过如下步骤来制备柔性背板：首先，在玻璃基板依次形成第一柔性材料层、缓冲层等多个膜层；然后，在相关膜层成型后，将这些膜层从玻璃基板上分离，以得到柔性背板。

然而，将相关膜层从玻璃基板分离时，常会由于第一柔性材料层自身的应力导致柔性背板发生弯曲，导致所制备的柔性背板无法正常使用。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种柔性背板及其制备方法、显示设备，以解决上述问题。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种柔性背板，包括：

第一柔性材料层，包括若干沟槽；

应力减缓材料，填充于所述第一柔性材料层的沟槽内；

表面层，位于所述填充了应力减缓材料的第一柔性材料层上。

在一实施例中，所述应力减缓材料为氧化硅。

在一实施例中，所述若干沟槽等间隔排布于所述第一柔性材料层上。

在一实施例中，所述表面层包括：

第一缓冲层，位于所述填充了应力减缓材料的第一柔性材料层上；

第一非多晶硅，位于所述第一缓冲层上；

第二柔性材料层，位于所述第一非晶硅层上；

第二缓冲层，位于所述第二柔性材料层上；

第二非晶硅层，位于所述第二缓冲层上。

在一实施例中，所述第一缓冲层和第二缓冲层均包括氧化硅层以及氮化硅层。

解决上述技术问题，本发明实施例提供一种显示设备，所述显示设备包括如发明内容所述的柔性背板。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种柔性背板的制备方法，包括：

提供基板，在所述基板上沉积第一柔性材料层；

在所述第一柔性材料层上形成若干沟槽；

在所述沟槽内填充应力减缓材料；

在填充了应力减缓材料的第一柔性材料层上形成表面层；

将所述第一柔性材料层从所述基板上剥离，以得到柔性背板。

在一实施例中，所述在所述第一柔性材料层上形成若干沟槽的步骤，包括：

图形化所述第一柔性材料层，以在所述第一柔性材料层上形成若干沟槽。

在一实施例中，所述在所述沟槽内填充应力减缓材料的步骤，包括：

在所述形成有沟槽的第一柔性材料层上沉积应力减缓材料；

去除位于沟槽外的应力减缓材料。

在一实施例中，所述去除位于沟槽外的应力减缓材料的步骤，包括：

在应力减缓材料上形成具有预设图形的光刻胶；