[发明专利]一种高温石墨炉坩埚

权利要求书

1.一种高温石墨炉坩埚，其特征在于，包括炉架、炉体、旋转坩埚、旋转机构、真空系统、气路系统、电控系统；所述炉架上固定设置有圆桶型的、卧式前门出料的炉体，所述炉体内固定设置有隔热层，所述隔热层内设置有圆桶形的旋转坩埚，所述旋转坩埚由旋转机构驱动；所述炉体与真空系统、气路系统连通、与电控系统的控制柜和配电柜电气信号连接；所述旋转坩埚前端设置有坩埚盖，所述旋转坩埚下部通过相互平行配置的旋转轴和从动轴与坩埚底座滚动式连接，所述旋转坩埚外部中间位置设置有环形凸台，所述旋转轴和从动轴中间位置设置有凹槽，所述环形凸台与凹槽相互卡位固定；所述旋转轴、从动轴上由凹槽分隔为相等的两段，所述旋转轴、从动轴的两段轴杆上均匀设置有轴向条纹，所述轴向条纹与旋转坩埚外侧壁相互紧密压接，所述旋转轴由旋转机构驱动转动，并通过轴向条纹带动旋转坩埚跟随转动；

所述旋转坩埚内部沿着轴向等角度设置有多个加强形筋板，所述旋转坩埚底端中心设置有进气孔，所述进气孔与充气管道连通；所述坩埚盖中心设置有排气孔，所述进气孔和排气孔用于保护性惰性气体的充气和排气。

2.根据权利要求1所述的一种高温石墨炉坩埚，其特征在于，所述旋转机构包括伺服电机、减速机、控制器、驱动轴及轴承、石墨联接件、波纹密封管、冷却夹套；所述伺服电机固定设置于炉架上，所述驱动轴与旋转轴相互传动轴接引出炉外，所述旋转轴为石墨材料，所述驱动轴为不锈钢材质，所述驱动轴外设置有水冷夹套吸收热量，并采用波纹密封管密封，所述驱动轴与减速机采用链条联接传动。

3.根据权利要求1所述的一种高温石墨炉坩埚，其特征在于，所述炉体包括炉壳、炉门、隔热屏和加热器；所述炉门为半圆形门，所述隔热屏设置于所述炉壳内，所述加热器装配在隔热屏内部，并与电极电连接；所述炉壳为双壁水冷结构，内外壁及法兰均为不锈钢，法兰内带冷却水槽，炉壳内表面抛光；所述炉壳上设有抽真空接口、充气进气阀接口、排气接口、热偶及观察窗；所述炉门由不锈钢球形封头与不锈钢法兰组焊而成，法兰内带冷却水槽，设有观察窗；所述隔热屏、加热器、旋转坩埚为高纯石墨材料，所述隔热屏采用石墨硬毡组装成长方体结构，前面开门装卸料；所述加热器为采用高纯石墨G330，分左右两片加热器。

4.根据权利要求1所述的一种高温石墨炉坩埚，其特征在于，所述真空系统包括2X-70机械泵、GDQ-80、GDQ-25、GD-16高真空挡板阀、电磁阀、灰尘收集装置及缓抽回路组，炉内抽真空时先开缓抽回路可有效减少炉内原料粉末产生灰尘，并有过滤收集装置，防止污染主管路及机械泵。

5.根据权利要求1所述的一种高温石墨炉坩埚，其特征在于，所述气路系统由油雾器、油水分离器、压力表、电磁阀、管路及等组成；充气排系统由电动充气阀、压力传感器、流量计、微调阀、压力表、电动控制阀门、管路等组成，可实现自动/手动充气及排气，并能维持炉内压力一定范围的自动调节。

6.根据权利要求1所述的一种高温石墨炉坩埚，其特征在于，所述电控系统包括控制柜、配电柜、触摸屏一体机、FP23温控仪、调压器、数显真空计、OMRON、PLC、铠装热偶；所述温度控制由FP23智能控温仪来完成具有PID调节和自整定功能，可内存20条曲线，每条曲线20段，控温精度±0.1％FS；由铠装钨铼热偶测温，FP23智能控温仪控制升温；本系统从装料开始可实现全自动运行，真空、水、气、电之间都有程序自锁，按程序运行过程中有异常时根据具体情况可发出警报，及停车，保证设备安全运行，同时具有手动操作功能。