[发明专利]一种平面靶材背面金属化设备及方法

说明书

本发明涉及一种平面靶材背面金属化设备及方法，该设备包括热台、靶材推杆、数控推杆传动丝杆、数控三轴龙门滑台、超声波涂铟机和热台温控箱，热台是由N个单温区热台组成，数控推杆传动丝杆通过丝杆安装块分别安装在热台的丝杆安装槽内，数控推杆传动丝杆的一端安装有丝杆电机，靶材推杆设置有N‑1根，靶材推杆间隔一个单温区热台宽度的距离通过推杆安装块安装在数控推杆传动丝杆上，数控三轴龙门滑台安装在热台上，超声波涂铟机安装在数控三轴龙门滑台的Z方向轴上，N的取值为3‑10；该方法采用连续性、全自动的生产方式。本发明可实现自动涂铟、多温区流水作业，可提高操作效果和工作效率，降低工人的劳动强度并改善作业环境。

技术领域

本发明涉及一种背面金属化设备及方法，特别涉及一种平面靶材背面金属化设备及方法。

背景技术

陶瓷平面靶材是通过一块铜质的背板安装到磁控溅射镀膜机上的。所以靶材安装前，必须先将其焊接到铜背板上。靶材以金属铟为焊料，钎焊在铜板上，为增加焊接强度，需先在靶材背面涂上一层铟，即背面金属化。

现有背面金属化操作是，人工手持超声波涂铟机，站在200℃的热台旁操作，然后等热台降温后，取下完工的靶材。这样操作，工人劳动强度大，工作环境恶劣，且等待热台降温时间长，效率低下。

目前未见有专用于平面靶材背面金属化的设备，故需要研发一种设备专用于陶瓷平面靶材背面金属化，以降低工人的劳动强度和改善工人的作业环境。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种平面靶材背面金属化设备及方法，该设备及方法可实现自动涂铟、多温区流水作业，可提高操作效果和工作效率，降低工人的劳动强度并改善作业环境。

解决上述技术问题的技术方案是：一种平面靶材背面金属化设备，包括热台、靶材推杆、数控推杆传动丝杆、数控三轴龙门滑台、超声波涂铟机和用于控制热台温度的热台温控箱，所述的热台是由N个单温区热台组成，热台的两侧边缘设置有丝杆安装槽，所述热台温控箱的数量与单温区热台相同，每个单温区热台上配套安装一个热台温控箱，数控推杆传动丝杆设置有两根，两根数控推杆传动丝杆通过丝杆安装块分别安装在丝杆安装槽内，数控推杆传动丝杆的一端安装有丝杆电机，所述的靶材推杆设置有N-1根，靶材推杆间隔一个单温区热台宽度的距离通过推杆安装块安装在两根数控推杆传动丝杆上并位于热台上方，所述靶材推杆的两端通过转轴安装在推杆安装块上，推杆安装块开有内螺纹孔，推杆安装块通过内螺纹孔安装在数控推杆传动丝杆上，所述的数控三轴龙门滑台包括有X方向轴、Y方向轴和Z方向轴，数控三轴龙门滑台安装在热台上，超声波涂铟机安装在Z方向轴上，N的取值为3-10。

本发明的进一步技术方案是：N的取值为7。

所述靶材推杆为长方体，靶材推杆一端的推杆安装块上还设置有用于限制靶材推杆仅对向前运动的靶材施力的推杆转动挡片。

所述的数控三轴龙门滑台的Z方向轴上还设置有涂铟过程中给超声波涂铟机施加向上拉力的涂铟机拉力弹簧。

本发明的另一技术方案是：一种平面靶材背面金属化方法，采用上述的平面靶材背面金属化设备，其中，N的取值为7，超声波涂铟机位于中间一个单温区热台的上方，包括以下步骤：

（1）按进料方向，将7个单温区热台的温度通过热台温控箱依次设置为50℃、100℃、150℃、200℃、150℃、100℃、50℃；