[发明专利]一种显示面板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 201810055685.8 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN108365129B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 吕迅;黄秀颀;蔡世星;崔志远;梁超 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 及其 制作方法 显示装置 | ||
1.一种显示面板制作方法,其特征在于,包括:
在平坦化层上形成刻蚀阻挡层;
在所述刻蚀阻挡层上形成导电膜层;
采用光刻工艺,对所述导电膜层进行处理,形成图案化的阳极;
其中,所述在平坦化层上形成刻蚀阻挡层,具体包括:
采用沉积工艺,在所述平坦化层上形成覆盖过孔的金属膜层,作为刻蚀阻挡层;
在形成图案化的阳极之后,还包括:
以所述图案化的阳极作为掩膜版,对所述刻蚀阻挡层进行刻蚀,形成具有第二图案的刻蚀阻挡层;
所述刻蚀阻挡层用于阻挡所述平坦化层被形成图案化的阳极时所使用的灰化材料腐蚀。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在形成图案化的阳极之后,所述方法还包括:
在所述阳极之上形成图案化的像素定义层;其中,所述阳极下方的刻蚀阻挡层为具有第二图案的刻蚀阻挡层。
3.一种显示面板,所述显示面板为采用权利要求1~2任一项所述方法制作而成,包括:平坦化层、阳极,其特征在于,还包括:
位于所述平坦化层和所述阳极之间的刻蚀阻挡层;其中,所述刻蚀阻挡层为具有第二图案的金属膜层,所述金属膜层与所述阳极具有相同图案,用于阻挡所述平坦化层被形成图案化的阳极时所使用的灰化材料腐蚀;
所述显示面板还包括贯穿所述平坦化层的过孔,所述刻蚀阻挡层覆盖平坦化层以及所述过孔。
4.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于,还包括:
位于所述阳极上的像素定义层。
5.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求3-4任意一项所述的显示面板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择