[发明专利]一种太阳能电池的贴膜、曝光制备方法有效
申请号: | 201810058929.8 | 申请日: | 2018-01-22 |
公开(公告)号: | CN110071181B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 倪鹏玉;王树林;杨与胜 | 申请(专利权)人: | 福建金石能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/20 |
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地址: | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 曝光 制备 方法 | ||
本发明公开了一种太阳能电池的贴膜、曝光制备方法,其包括以下步骤:贴膜:在电池片的两面贴上一层感光膜;缓存:将贴好感光膜的电池片放入缓存机构进行缓存等待下一步操作;曝光:对从缓存机构输出的电池片进行曝光,将图形转印到感光膜上;缓存:将贴好感光膜的电池片放入缓存机构进行缓存等待下一步操作;裁切:对曝光好的太阳能电池片进行裁切分割。本发明采用了先曝光再裁切电池片使得电池片贴膜时表面附着干膜屑的可能性大大降低,从而提高了硅片贴膜片的曝光良率,本发明在对电池片进行曝光之前对电池片进行整体连续缓存,故缓存之前硅片需先不裁切进行曝光,这样使得硅片表面附着干膜屑的可能性大大降低从而提高了硅片贴膜片的曝光良率。
技术领域
本发明涉及太阳能电池领域,尤其涉及一种太阳能电池的贴膜、曝光制备方法。
背景技术
HIT太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池,其中贴膜、曝光、缓存、撕膜是高电导栅线制备方法的流程之一。
HIT太阳能电池片在制备过程中传统的贴膜、曝光、缓存、撕膜方法流程是使硅片通过贴膜机构给硅片的上表面和下表面贴上表面有一层保护膜,然后硅片贴膜片通过输送机构传送至裁切机构,使得经过裁切机构的裁切硅片贴膜片被逐个分离出来并经过曝光机构进行曝光,曝光后的硅片贴膜片根据方法要求需进入缓存机构缓存,同时为了便于上下工序的顺利衔接,从缓存机构传出来的硅片贴膜片需进入缓冲机构缓冲,最后完成缓冲的硅片贴膜片经过输送机构传送至撕膜机构,然后由撕膜机构撕去硅片贴膜片上下表面的保护膜。
由于传统的缓存方式采用逐片缓存故缓存之前需通过裁切机构对硅片贴膜片裁切,而裁切过程中产生了少量的干膜屑且部分干膜屑被沾附到硅片贴膜片的表面并被带入曝光腔室进行曝光,从而影响硅片撕膜片的曝光良率和生产效率,且逐片缓存需经过撕膜机构逐片撕膜,从而增加了撕膜机构的撕膜难度,影响太阳能电池片的生产效率和制备质量。而且传统的曝光方式采用逐片曝光且曝光之前通过裁切机构对硅片贴膜片进行裁切,而裁切过程中产生了少量的干膜屑且部分干膜屑被沾附到硅片贴膜片的表面并被带入曝光腔室进行曝光,从而影响硅片撕膜片的曝光良率和生产效率,影响太阳能电池片的生产良率和制备质量。再者传统的贴膜方法在贴膜前对硅片进行精确定位,使得每一片硅片贴膜片的硅片相对感光膜的位置不同,故需采用单片裁切,单片曝光的方式以保证每一片硅片贴膜片曝光的精度,从而影响电池片的曝光效率和生产良率。
因此,现有的硅片贴膜方法有待提高和改善。
发明内容
为了克服现有技术中的缺陷,本发明提供了一种太阳能电池的贴膜、曝光制备方法,其提高了太阳能电池的制备良率,提高光电转换效率,降低生产成本。
一种太阳能电池的贴膜、曝光制备方法,其包括以下步骤:
贴膜:在电池片的两面贴上一层感光膜;
缓存:将贴好感光膜的电池片放入缓存机构进行缓存等待下一步操作;
曝光:对从缓存机构输出的电池片进行曝光,将图形转印到感光膜上;
缓存:将裁切好的电池片放入缓存机构进行缓存等待下一步操作;
裁切:对曝光好的太阳能电池片进行裁切分割。
进一步的,在贴膜之前还包括步骤:还包括步骤:将待贴膜的电池片放入定位机构进行定位等待下一步操作,所述电池片为N片连续的电池片(N>1),定位机构同时对N片连续的电池片进行定位。
进一步的,在曝光之后还包括步骤:对曝光好的电池片进行撕膜。
进一步的,在裁切之后还包括步骤:对裁切好的电池片进行撕膜。
进一步的,所述步骤缓存中可以缓存M片电池片(M>1)。
进一步的,所述曝光是通过紫外光照射电池片以将预设好的图形转印到感光膜上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的