[发明专利]一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法及装置

说明书

本发明公开了一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，首先获取基准阀与各个调整阀转换所需时间的差值，然后在第一时间后控制基准阀转换开闭状态，同时控制各调整阀在其对应的第二时间后转换开关状态；其中基准阀为若干个截止阀中的任意一个，其余截止阀均为调整阀，第二时间和第一时间的时间差为各个调整阀对应的差值。该方法对各个截止阀开始控制的时间进行调整，抵消了截止阀自身结构造成的转换时间的差异，从而使各个截止阀可同步转换开闭状态，进而保障工艺机台压力的稳定性。本发明还公开了一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，该装置在切换工艺制程过程中反应室压力稳定，产品质量较高。

技术领域

本发明涉及光纤、半导体制造设备技术领域，更具体地说，涉及一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法和装置。

背景技术

在光纤、半导体制造的工艺设备中，为工艺机台提供原料气体的气体箱或气柜对最终产品的品质有着非常重要的影响。气体箱或气柜为包括质量流量控制器(MFC)、阀门等部件的气体流量供给装置。气体箱或气柜通常设有若干个支路，每个支路均与工艺机台连通，对处于工艺机台的产品进行加工。

气体箱的每个支路均设有MFC，MFC用于控制该支路在标准大气压下的工艺气体可流通的最大质量流量。对光纤的芯、包界面、半导体制程的沉积、刻蚀等不同阶段的工艺产品进行加工时，气体箱或气柜需要控制不同气体流量的及切换供应不同种类的气体。

切换工艺制程时需要关闭旧通道的截止阀并打开新通道的截止阀，其中新通道和旧通道均可以包括若干个截止阀。例如参考图1，图1为现有技术中的设计方案示意图，S1、S2、S3、S4为四种不同的气体源，L1、L2、L3、L4、L5、L6为气体箱的六个不同的工艺气体供给支路。进行一个工艺制程时支路L1、L2、L4为工艺机台供给工艺气体，在进行另一个工艺制程时支路L2、L3、L5供给工艺气体。因此切换过程中需要关闭旧通道的支路L1、L4同时打开新通道的支路L3、L5。

现有技术通常直接对原通道和新通道的截止阀进行控制实现切换，然而由于各个截止阀自身的结构差异，各个截止阀可能出现不同步的情况，即工艺制程在两个通道进行切换时会在短时间内出现2个通道同时开启或关闭的情况。例如对于上述工艺制程的切换，可能出现L1、L4的截止阀已经关闭而L3、L5截止阀未打开，或L3、L5截止阀已打开而L1、L4截止阀未关闭的问题。

截止阀无法同步转换开闭状态会使反应室压力出现明显的增大或降低。而压力的明显波动会对工艺反应造成较大的干扰，例如发生反应不完全或反应副产品中的颗粒物从尾端逆流回反应室等问题，各种不利的干扰均会对产品低的质量造成较大的影响。

综上所述，如何提供一种减小切换工艺制程中压力波动的方法，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种减小切换工艺制程中压力波动的方法，在不同支路切换工艺气体时仍能保持工艺机台压力的稳定性，避免切换过程中压力波动较大造成的产品缺陷，从而提高产品质量。

本发明的另一目的是提供一种保持工艺制程切换过程压力稳定的装置，该装置在切换支路截止阀开闭状态的过程中，反应室压力保持稳定，产品质量较高。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种保持工艺制程切换过程压力稳定的方法，包括：

S1、确定若干个截止阀中的任意一个为基准阀，其余均为调整阀，并获取所述基准阀与各个所述调整阀转换开闭状态所需时间的差值；

S2、启动计时，控制所述基准阀在第一时间截止时转换开闭状态，控制各所述调整阀在其对应的第二时间后转换开闭状态，其中所述第二时间和所述第一时间的时间差为所述差值。

优选的，S2之前还包括：对新通道的所述截止阀的上游进行预设泄放时间的泄放。