[发明专利]挠性膜机构、流道部件以及液体喷射装置

权利要求书

1.一种挠性膜机构，其为用于阀机构的挠性膜机构，所述挠性膜机构的特征在于，具备：

盖部件；

挠性膜，其在与所述盖部件之间形成空间；

流体流道，其与所述空间连通，

控制部，其以通过所述挠性膜的变形而使所述阀机构的阀进行开闭的方式进行控制，

所述控制部以所述挠性膜采用第一状态和第二状态的方式进行控制，

在所述第一状态下，形成有在所述阀机构侧成为凸部的第一凸部，

在所述第二状态下，形成有在所述盖部件侧成为凸部的第二凸部、和在所述盖部件侧成为凸部的第三凸部，

所述第二凸部和所述第三凸部彼此不同。

2.如权利要求1所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述挠性膜具备在所述空间外被固定的固定部、和从该固定部起向所述空间内延伸设置的挠性部，

从所述挠性部的所述固定部侧的根部起至所述挠性部与所述阀机构的抵接位置为止的该挠性部的长度长于所述挠性膜的所述挠性部的所述根部与所述阀的最短距离。

3.如权利要求1所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述挠性膜具备固定部和挠性部，所述固定部在所述空间外被夹持并被固定在所述盖部件与设置于该盖部件的所述挠性膜侧的部件之间，所述挠性部从该固定部起向所述空间内延伸设置，

在所述挠性膜的所述固定部被夹持的方向上，所述挠性部的所述固定部侧的端部的中心位于与所述固定部的所述挠性部侧的端部的中心相比靠所述阀侧。

4.如权利要求2所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述固定部在所述空间外被夹持并被固定在所述盖部件与设置于该盖部件的所述挠性膜侧的部件之间，

在所述挠性膜的所述固定部被夹持的方向上，所述挠性部的所述固定部侧的端部的中心位于与所述固定部的所述挠性部侧的端部的中心相比靠所述阀侧。

5.如权利要求1或2所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述阀机构具备腔室和薄膜，所述腔室与所述阀连通，所述薄膜对所述腔室的至少一部分进行规定，并通过变形而使所述阀进行开闭，

所述挠性膜机构具备隔离件，所述隔离件用于将所述薄膜与所述挠性膜之间的距离保持为固定。

6.一种流道部件，其特征在于，具备：

权利要求1～5中的任一项所述的挠性膜机构；

阀机构。

7.一种液体喷射装置，其特征在于，具备：

权利要求1～5中的任一项所述的挠性膜机构；

液体喷射头，其喷射液体。