[发明专利]湿度控制装置及其温度控制系统与光刻机台

权利要求书

1.一种湿度控制装置，其特征在于，包括控制单元、蒸汽生成单元、蒸汽分布单元和监测单元；

所述监测单元用于感知一空调设备所提供的空气的湿度，并将感知到的空气的湿度信息提供给所述控制单元；

所述控制单元用于根据接收到的空气的湿度信息，控制所述蒸汽生成单元的输出状态，以此控制所述蒸汽生成单元向所述蒸汽分布单元提供的水蒸汽的蒸汽量；

所述蒸汽分布单元用于将接收到的水蒸汽提供给所述空调设备，以使水蒸汽与所述空调设备所提供的空气进行混合。

2.根据权利要求1所述的湿度控制装置，其特征在于，所述空调设备吸入的空气具有第一温度，所述空调设备对具有第一温度的空气进行温度调节以使所述空气具有第二温度；

所述监测单元用于感知所述具有第一温度的空气的湿度；

所述蒸汽分布单元用于将接收到的水蒸汽提供给所述空调设备，以使水蒸汽与所述具有第一温度或所述具有第二温度的空气进行混合。

3.根据权利要求1所述的湿度控制装置，其特征在于，还包括与所述蒸汽生成单元连接的供水单元；所述供水单元用于提供超纯水给所述蒸汽生成单元，所述蒸汽生成单元用于将接收到的超纯水转换为水蒸汽并提供给所述蒸汽分布单元。

4.根据权利要求3所述的湿度控制装置，其特征在于，所述供水单元包括两个蓄水槽，所述蒸汽生成单元具有进水口和排水口；一个所述蓄水槽连接所述进水口，另一个所述蓄水槽连接所述排水口。

5.根据权利要求1所述的湿度控制装置，其特征在于，所述蒸汽生成单元包括与电源连接的电热棒，所述电热棒用于将接收到的超纯水转换为水蒸汽并提供给所述蒸汽分布单元。

6.根据权利要求1所述的湿度控制装置，其特征在于，所述蒸汽分布单元包括汽水分离器，所述汽水分离器用于分离水蒸汽携带的液态水，以向所述空调设备提供干饱和水蒸汽。

7.根据权利要求1所述的湿度控制装置，其特征在于，所述监测单元包括一个或多个湿度传感器。

8.根据权利要求1所述的湿度控制装置，其特征在于，所述控制单元包括中央控制器以及湿度控制器；

所述中央控制器用于对湿度控制装置进行集中控制；所述湿度控制器用于根据接收到的空气的湿度信息，控制所述蒸汽生成单元的输出状态。

9.根据权利要求1所述的湿度控制装置，其特征在于，所述湿度控制装置与所述空调设备集成于同一壳体中。

10.一种温度控制系统，其特征在于，包括空调设备以及湿度控制装置；其中，所述湿度控制装置包括控制单元、蒸汽生成单元、蒸汽分布单元和监测单元；所述空调设备吸入的空气具有第一温度，所述空调设备对具有第一温度的空气进行温度调节以使所述空气具有第二温度；

所述监测单元用于感知所述具有第一温度的空气的湿度，并将感知到的空气的湿度信息提供给所述控制单元；所述控制单元用于根据接收到的空气的湿度信息，控制所述蒸汽生成单元的输出状态，以此控制所述蒸汽生成单元向所述蒸汽分布单元提供的水蒸汽的蒸汽量；所述蒸汽分布单元用于将接收到的水蒸汽提供给所述空调设备，以使水蒸汽与所述具有第一温度或所述具有第二温度的空气进行混合。

11.根据权利要求10所述的温度控制系统，其特征在于，所述空调设备包括壳体以及设置于所述壳体内的抽风单元、温度控制单元以及送风单元；所述壳体具有进气口和排气口；

所述抽风单元用于将所述具有第一温度的空气通过所述进气口抽入所述壳体；所述温度控制单元用于对所述具有第一温度的空气进行温度调节，以得到所述具有第二温度的空气；所述送风单元用于将所述具有第二温度的空气通过所述排气口排出所述壳体。

12.根据权利要求11所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制单元为一热交换器。