[发明专利]用于四氟乙烯生产系统的微量水传感器及水分检测装置

权利要求书

1.一种用于四氟乙烯生产系统的微量水传感器，其特征在于：包括传感器主体，所述传感器主体的外表面由内至外依次设有第一氧化物层、第二氧化物层及高分子薄膜层，所述第一氧化物层与第二氧化物层的反射系数不同；所述高分子薄膜层上设有通孔，所述通孔的尺寸不小于水分子的直径，且所述通孔的尺寸小于所述四氟乙烯生产系统中的其他介质组分的直径。

2.根据权利要求1所述的用于四氟乙烯生产系统的微量水传感器，其特征在于：所述通孔的数量为多个，多个所述通孔呈阵列式或呈放射状地分布在所述高分子薄膜层上。

3.根据权利要求1或2所述的用于四氟乙烯生产系统的微量水传感器，其特征在于：所述高分子薄膜层采用膨化聚四氟乙烯材质制成。

4.根据权利要求1所述的用于四氟乙烯生产系统的微量水传感器，其特征在于：所述第一氧化物层的反射系数小于所述第二氧化物层的反射系数。

5.根据权利要求1或4所述的用于四氟乙烯生产系统的微量水传感器，其特征在于：所述第一氧化物层采用氧化硅材质制成，所述第二氧化物采用氧化锆材质制成。

6.根据权利要求1所述的用于四氟乙烯生产系统的微量水传感器，其特征在于：所述通孔通过热固化工艺形成在所述高分子薄膜层上。

7.一种水分检测装置，其特征在于：包括装置主体及设于所述装置主体底部的如权利要求1-6任一项所述的用于四氟乙烯生产系统的微量水传感器。

8.根据权利要求7所述的水分检测装置，其特征在于：还包括用于连接所述装置主体与微量水传感器的插拔组件，所述水分检测装置通过所述插拔组件与所述四氟乙烯生产系统可拆卸式连接。

9.根据权利要求8所述的水分检测装置，其特征在于：所述插拔组件包括取样连接托台及与所述取样连接托台连接的插管；所述插管用于插入所述四氟乙烯生产系统的主管道内，且所述主管道上设有用于与所述取样连接托台配合连接的连接座，以实现所述水分检测装置与四氟乙烯生产系统的固定连接。