[发明专利]激活温度可控的非蒸散型薄膜吸气剂及其应用

权利要求书

1.一种激活温度可控的非蒸散型薄膜吸气剂，其特征在于：包括第一薄膜吸气剂层以及其上方的温控层，所述温控层上还设置有第二薄膜吸气剂层，所述第二薄膜吸气剂层上设置有吸气剂保护层；其中，所述第一薄膜吸气剂层为多孔型结构，所述温控层为致密型结构，所述第二薄膜吸气剂层的结构为致密型结构，所述吸气剂保护层为致密型结构，第一薄膜吸气剂层的材质为Zr，温控层的材质为V，第二薄膜吸气剂层的材质为Zr，吸气剂保护层的材质为Au，第一薄膜吸气剂层的厚度为100nm，温控层的厚度为200nm，第二薄膜吸气剂层的厚度为20nm，吸气剂保护层的厚度为20nm。

2.根据权利要求1所述的激活温度可控的非蒸散型薄膜吸气剂，其特征在于：非蒸散型薄膜吸气剂在真空条件下通过连续淀积方式获得，所述淀积方式为蒸发淀积或磁控溅射淀积方式。

3.根据权利要求1所述的激活温度可控的非蒸散型薄膜吸气剂在真空封装工艺中的应用。

4.根据权利要求3所述的应用，其特征在于：应用时，非蒸散型薄膜吸气剂吸收氢气、水汽、氧气、一氧化碳、二氧化碳和氮气中的一种或几种。