[发明专利]具有新型旋转型光路的快速偏转反射镜装置及测量系统

权利要求书

1.一种具有新型旋转型光路的快速偏转反射镜装置，其特征在于，所述装置包括新型旋转型光路和快速偏转反射镜；所述新型旋转型光路包括：激光器、初始反射镜(0)、分束装置、第一反射镜(1)、第二反射镜(2)、第三反射镜(3)、以及测量反射镜/转动反射镜(4)、以及光斑位移传感器；

其中，第一反射镜(1)和水平平面之间夹角45°，第二反射镜(2)和第一反射镜(1)之间夹角90°，第三反射镜(3)和第一反射镜(1)平行。

2.如权利要求1所述的快速偏转反射镜装置，其特征在于，激光器发射入射激光，经过初始反射镜(0)改变光路方向，通过分束装置，激光照射在测量反射镜/转动反射镜(4)上，当测量反射镜/转动反射镜(4)转动角度α时，反射激光与入射激光之间的夹角为2α，反射光通过分束装置的反射面，反射到第一反射镜(1)上，依次在第一反射镜(1)、第二反射镜(2)、第三反射镜(3)之间反射，最后反射光经过第三反射镜(3)，光斑照射在光斑位移传感器上，通过测量反射镜/转动反射镜(4)转动的转角，在光斑位移传感器上形成光斑的移动，移动的位移对应的夹角即为待测的转角。

3.如权利要求1或2所述的快速偏转反射镜装置，其特征在于，所述光斑位移传感器为PSD传感器。

4.如权利要求1或2所述的快速偏转反射镜装置，其特征在于，所述分束装置为半透半反镜；所述激光器为半导体激光器。

5.如权利要求1-4任一项所述的快速偏转反射镜装置，其特征在于，所述光路满足以下角度关系：

β = arctan d L 1 2 + L 4 + L 5 + L 6 + L 7 - - - ( 1 ) ]]>

其中，β表示待测的转角，d表示光斑位移传感器接收面的光斑的位移距离，L1为分束装置到测量反射镜/转动反射镜(4)距离的2倍，L4为第二反射镜(2)到第三反射镜(3)的距离，L5为分束装置到第一反射镜(1)的距离，L6为第一反射镜(1)到第二反射镜(2)的距离，L7为第三反射镜(3)到光斑位移传感器的距离。