[发明专利]用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置在审
申请号: | 201810063552.5 | 申请日: | 2016-03-16 |
公开(公告)号: | CN108321111A | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 范启超 | 申请(专利权)人: | 浙江潮晨能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L31/18 |
代理公司: | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265 | 代理人: | 蔡鼎 |
地址: | 314406 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刻蚀装置 生产系统 电池片 制备 刻蚀 工作箱 风扇 底座 工作稳定性 动力机构 放电电极 清洗装置 烧结 伸缩管 工作台 刮涂 转动 冷却 扩散 生产 | ||
1.用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置,用于制备电池片的生产系统包括底座,底座上设置有工作台,其特征在于,所述刻蚀装置包括机架,机架设置在工作台上,机架上固定有刻蚀箱,机架上还固定有工作箱,工作箱通过伸缩管和刻蚀箱相连通;工作箱内固定有放电电极,所述工作箱内设置有用于对其进行冷却的风扇,风扇与一能带动其转动的第一动力机构相连,第一动力机构包括驱动电机、第二摆动杆和定位板,定位板设置在工作箱内,定位板与一能带动其上下移动的移动机构相连,驱动电机通过螺栓连接的方式固定在定位板上,驱动电机的输出轴竖直向上,驱动电机的输出轴和第二摆动杆一端相铰接,驱动电机的输出轴与第二摆动杆的铰接处设有角度限位块,第二摆动杆的另一端通过螺栓连接的方式和风扇相固定;移动机构包括驱动气缸和第一安装板,驱动气缸的缸体通过螺栓连接的方式固定在机架上,驱动气缸的活塞杆竖直向上,驱动气缸的活塞杆端部伸入工作箱内和第一安装板相固定,定位板设置在第一安装板上,定位板和第一安装板之间设置有第一弹簧,第一弹簧一端和定位板相连,第一弹簧另一端和第一安装板相连;所述机架上还设置有第二滚轮,第二滚轮与一能带动其摆动的第二摆动机构相连;所述第二摆动机构包括第一连接杆和定位螺栓,第一连接杆一端和机架相铰接,第一连接杆另一端和第二滚轮相连接,定位螺栓螺纹连接在第一连接杆上,且定位螺栓端部能抵靠机架上。
2.根据权利要求1所述的用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置,其特征在于,所述机架上还设置有能检测工作箱内温度的测温机构。
3.根据权利要求1所述的用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置,其特征在于,所述测温机构包括第一控制器、温度传感器、第一推杆电机、第一导轨和第一滑块,第一导轨竖直固定在工作箱内,第一滑块设置在第一导轨上,第一推杆电机通过螺栓连接的方式固定在机架上,第一推杆电机的推杆竖直向上,第一推杆电机的推杆端部通过螺栓连接的方式和第一滑块相连,温度传感器通过连杆固定在第一滑块上,显示屏固定在机架上,第一推杆电机、温度传感器和显示屏均与该第一控制器相连。
4.根据权利要求1所述的用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置,其特征在于,所述驱动气缸与上述第一控制器相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造