[发明专利]泡沫金属制备装置及制备方法

权利要求书

1.一种泡沫金属制备装置，包括抽真空装置、腔室、靶材托件、引弧器及工件架，所述抽真空装置用于对腔室进行抽真空处理，所述靶材托件置于所述腔室内部用于承置金属靶材，所述引弧器与所述靶材托件电连接，用于激发所述金属靶材产生金属离子形成弧光放电，所述工件架置于所述腔室内部，其特征在于：

所述工件架包括架体、第一转动轴和第二转动轴，所述第二转动轴设置在所述架体上，所述第一转动轴用于带动所述架体和所述第二转动轴整体旋转，所述第一转动轴与所述第二转动轴的轴线不重合；

还包括金属网，所述金属网围设于工件架周围，并位于所述工件架与所述金属靶材之间，所述金属网的孔径为0.1mm～5mm。

2.根据权利要求1所述的泡沫金属制备装置，其特征在于，所述第一转动轴与所述第二转动轴平行设置。

3.根据权利要求1所述的泡沫金属制备装置，其特征在于，所述第二转动轴为多个，等间隔地围绕所述第一转动轴设置。

4.根据权利要求1所述的泡沫金属制备装置，其特征在于，所述第二转动轴用于带动多孔模板旋转。

5.根据权利要求1所述的泡沫金属制备装置，其特征在于，所述靶材托件为多个，所述靶材托件处于同一水平高度且均匀围绕所述工件架设置。

6.根据权利要求5所述的泡沫金属制备装置，其特征在于，所述靶材托件与所述第一转动轴的水平距离与所述第二转动轴与所述第一转动轴之间的水平距离的比值为2:1-5:1。

7.根据权利要求5所述的泡沫金属制备装置，其特征在于，所述靶材托件数量为4-16个。

8.根据权利要求1所述的泡沫金属制备装置，其特征在于，所述金属网为铜网。

9.根据权利要求1所述的泡沫金属制备装置，其特征在于，还包括负偏压装置，所述负偏压装置负极与所述工件架电连接，用于控制所述金属离子的运动方向。

10.一种泡沫金属制备方法，其特征在于，使用权利要求1-9任一项所述的泡沫金属制备装置进行制备，包括以下步骤：

S1：提供多孔模板和金属靶材；

S2：将所述多孔模板与所述第二转动轴连接，将所述金属靶材安装于所述靶材托件；

S3：对所述腔室进行抽真空处理，随后向腔室内通入保护气体，转动所述工件架的所述第一转动轴和所述第二转动轴；

S4：通过弧光放电激发所述金属靶材产生金属离子，使所述金属离子附着于所述多孔模板上。

11.根据权利要求10所述的泡沫金属制备方法，其特征在于，还包括步骤S5：对所述步骤S4得到的泡沫金属进行无氧热处理，从而去除所述多孔模板。

12.根据权利要求10所述的泡沫金属制备方法，其特征在于，所述步骤S1还包括对所述多孔模板进行预处理，所述预处理包括对所述多孔模板进行清洁、去除所述多孔模板内部杂质气体、去除所述多孔模板自身应力、消除所述多孔模板内部的间隔膜中的至少一个步骤。

13.根据权利要求10所述的泡沫金属制备方法，其特征在于，所述金属靶材的材料选自由Al、Mg、Cu、Ni、Ag、Fe、Ti中一种或多种元素组成的金属材料。

14.根据权利要求10所述的泡沫金属的制备方法，其特征在于，所述多孔模板为海绵。

15.根据权利要求14所述的泡沫金属制备方法，其特征在于，所述海绵选自聚酯、聚乙烯、聚丙乙烯、多酚、聚苯乙烯或聚亚胺酯的软质泡沫、硬质泡沫或半硬质泡沫中的至少一种。