[发明专利]蒸镀坩埚和蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀坩埚，用以蒸镀蒸发源材料，其特征在于，包括：坩埚本体、设于所述坩埚本体上的多个间隔设置的喷嘴和盖设于每个所述喷嘴上的喷嘴帽组；所述坩埚本体包括与所述喷嘴连通的收容腔，所述蒸发源材料放置于所述收容腔内；所述喷嘴帽组包括同轴套设且可拆分的多个喷嘴帽，每个所述喷嘴帽上设有与所述喷嘴连通的通孔，所述通孔的孔径大小由最外部的所述喷嘴帽向内部的所述喷嘴帽方向依次增大，且多个所述通孔连通，每个所述喷嘴帽上的所述通孔对应一个孔径的喷嘴口。

2.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴帽包括顶壁，所述通孔位于所述顶壁的中心位置。

3.如权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，每个所述喷嘴帽由至少两个盖板组成，每一个所述盖板包括内侧壁、外侧壁和连接所述外侧壁和所述内侧壁的端壁，至少两个所述盖板的所述端壁相互连接，以使所述内侧壁围成所述通孔。

4.如权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述至少两个所述盖板可沿垂直所述通孔轴向移动以改变所述通孔的孔径。

5.如权利要求1-4任一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚本体包括加热部和与所述加热部连通的蒸镀部，所述加热部包括加热腔，所述蒸镀部包括蒸镀腔，所述加热腔与蒸镀腔形成所述收容腔，所述喷嘴设于所述蒸镀部上，且所述喷嘴与所述蒸镀腔连通；所述加热腔用以放置和加热蒸镀源材料。

6.如权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀部的一端设有检测喷嘴，所述检测喷嘴与所述蒸镀腔连通。

7.如权利要求6所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括连接于每个所述喷嘴帽的连接部和转动连接于所述连接部的驱动部，所述驱动部驱动所述连接部移动，以使所述连接部带动所述喷嘴帽相对所述喷嘴移动。

8.如权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述连接部设有齿条，所述驱动部为微型马达，所述微型马达与所述齿条啮合传动。

9.如权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述连接部设有磁铁，所述驱动部为磁性装置，通过调节所述磁性装置的磁性，以吸引或排斥所述磁铁。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀腔室、设于所述蒸镀腔室内的多个间隔设置的权利要求6-9任意一项所述的蒸镀坩埚和电连接于所述蒸镀坩埚的控制装置，所述控制装置用以控制所述喷嘴帽相对所述喷嘴移动。