[发明专利]利用掩膜板图形转移制备具有规则褶皱的可拉伸器件的方法

权利要求书

1.利用掩膜板图形转移制备具有规则褶皱的可拉伸器件的方法，其特征在于，具体步骤如下：

(1)、利用掩膜板沉积金属薄膜隔离层；

首先，用3M塑料胶带在弹性衬底上限制出工作区，用掩膜板完全覆盖工作区并使二者无缝贴合；然后，将覆盖有掩膜板的弹性衬底置于真空蒸镀系统中，进行金属薄膜蒸镀，使得掩膜板的图案被复制至弹性衬底工作区；其中，掩膜板为具有周期性条纹图案的掩膜板；最后，将蒸镀完毕的弹性衬底取出，剥离弹性衬底上方的掩膜板，得到具有周期性金属条纹的弹性衬底；

(2)、制备具有规则褶皱的超薄柔性可拉伸有机光电器件；

首先，将步骤(1)得到的具有周期性金属条纹的弹性衬底沿其工作区短轴方向进行拉伸，并保持拉伸状态；然后，取超薄柔性有机光电器件粘贴至处于拉伸状态下的弹性衬底工作区，使器件的柔性衬底下表面与工作区完全贴合；并保证超薄柔性有机器件只与工作区中的粘合区进行粘合，而不与覆盖有条状金属隔离膜的非粘合区粘合；最后，释放弹性衬底上的拉伸应力，弹性衬底收缩并使得超薄柔性有机器件未与工作区粘合的部分随之发生弯曲，向上拱起并形成周期性褶皱，最终获得具有规则褶皱的超薄柔性可拉伸有机光电器件。

2.如权利要求1所述的利用掩膜板图形转移制备具有规则褶皱的可拉伸器件的方法，其特征在于，步骤(1)所述弹性衬底为VHB 4905弹性胶带，表面具有粘性，衬底尺寸为5cm×4cm；所述的弹性衬底上的工作区尺寸为5cm×0.6cm；所述的掩膜板为具有周期性条纹微结构的镂空式不锈钢掩膜板，尺寸为5cm×3.5cm，其中微结构周期为400μm，镂空部分的宽度为300μm，间隔的条形金属带宽为100μm，掩膜板覆盖至工作区时二者的长轴相互平行；所述的金属薄膜隔离层为铝膜，厚度为20-50nm。

3.如权利要求1所述的利用掩膜板图形转移制备具有规则褶皱的可拉伸器件的方法，其特征在于，步骤(2)所述的超薄柔性有机光电器件为有机电致发光器件或有机太阳能电池；所述超薄柔性有机器件的尺寸为2cm×2cm，其柔性衬底为NOA63光刻胶薄膜，旋涂所用转速为8000-12000rpm，所用时间为60-100s，紫外曝光时间为3-5min，薄膜厚度为2.0-4.0μm。。

4.如权利要求1所述的利用掩膜板图形转移制备具有规则褶皱的可拉伸器件的方法，其特征在于，步骤(3)所述弹性衬底的拉伸量为150-200％；所述的可拉伸发光器件的有效工作面积为4.5mm×1.5mm。