[发明专利]基于不完整非对称AWG的光学相控阵有效
申请号: | 201810077578.5 | 申请日: | 2018-01-26 |
公开(公告)号: | CN110082906B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 颜跃武;安俊明;王玥;张家顺;王亮亮 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所;中国科学院大学 |
主分类号: | G02B27/00 | 分类号: | G02B27/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 完整 对称 awg 光学 相控阵 | ||
1.基于不完整非对称AWG的光学相控阵,包括:
可调谐激光器(100),用于输出可调谐波长的光束;
光分束器(200),与可调谐激光器(100)耦合相连,用于把输入光束分成N束的等功率光束,N≥2;
光开关阵列(300),置于光分束器(200)之后,包括独立的N个光开关(310),每一光开关对应一等功率光束,用于控制该等功率光束的通断,N≥2;以及
AWG阵列(400),置于光开关阵列(300)之后,包括独立的N个不完整非对称AWG(410),每一个不完整非对称AWG(410)对应一等功率光束,用于将相应光开关(310)控制输入的由可调谐激光器(100)发出的不同波长的光束引入不同相位差,在输出端不同方向上出现干涉亮斑并聚焦成像,完成光束扫描;
所述不完整非对称AWG(410),包括:
输入平板波导(411),与前置光开关(310)的输出端相连,用于将对应的光开关所控制输入的光束以相同相位输出;以及
阵列波导区(412),与前置输入平板波导(411)相连,包括M个阵列波导,M≥3且为奇数,用于将输入平板波导(411)输入的不同波长光束引入相位差;
其中,所述阵列波导区(412)的输入端和输出端各自构成罗兰圆结构,且输出端罗兰圆结构半径大于输入端罗兰圆结构半径,形成非对称结构;所述阵列波导区(412)输入端的罗兰圆结构半径介于100μm至10mm之间;所述阵列波导区(412)输出端的罗兰圆结构半径介于1dm至10m之间;
其中,所述阵列波导区(412)的输出端将空气作为输出平板波导。
2.根据权利要求1所述的基于不完整非对称AWG的光学相控阵,其中,所述不完整非对称AWG(410)的分辨率Δλ的计算公式为:
式中,d1为阵列波导区(412)输出端相邻输出光束的间距,d2为阵列波导区(412)输出端相邻阵列波导的间距,nc为阵列波导的有效折射率,ns为输入平板波导的有效折射率,R为阵列波导区(412)输出端罗兰圆半径,m为衍射级数,ng为群速度,ns即为真空中的折射率,ns=1。
3.根据权利要求1所述的基于不完整非对称AWG的光学相控阵,其中,所述阵列波导区(412)将输入的不同波长光束引入不同相位差,所述相位差的计算公式为:
式中,ΔL为相邻阵列波导的长度差,nc为阵列波导的有效折射率。
4.根据权利要求1所述的基于不完整非对称AWG的光学相控阵,其中,每一个不完整非对称AWG(410)的中心波导的反向延长线汇聚于一点,中心波导为从一侧开始第(M+1)/2个阵列波导。
5.根据权利要求1所述的基于不完整非对称AWG的光学相控阵,其中,所述光开关阵列(300)用于控制该等功率光束的通断,确保只有一路光束输入不完整非对称AWG(410)中。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的基于不完整非对称AWG的光学相控阵,其中:
所述光分束器(200)的单元间距介于1μm至999μm之间;
所述不完整非对称AWG(410)的阵列波导(412)数量介于3个至999个之间;
所述光分束器(200)、光开关阵列(300)及AWG阵列(400)由光波导材料制备而成,所述光波导材料包括二氧化硅、氮化硅、硅或磷化铟,且可掺杂B、P或Ge元素。
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