[发明专利]一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂及使用方法

说明书

一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂及使用方法，包括有添加剂和酸制绒液混合制成，所述添加剂由磺酸盐、全氟烷基聚氧乙烯醚、有机酸或其盐类中的一种或几种和超纯水混合而成；所述添加剂的成分比例为：磺酸盐的质量分数为1‑10％，全氟烷基聚氧乙烯醚的质量分数为0.01‑1％，有机酸或其盐类的质量分数为2‑10％，其余为超纯水；所述酸制绒液的成分比例为：硝酸质量分数为15‑50％，氢氟酸质量分数为5‑30％，其余为超纯水。本发明和现有技术相比，其优点在于：使用本添加剂后绒面(腐蚀坑洞)更加均匀，并且绒面更加细小，与未使用添加剂酸制绒制得硅片相比，反射率降低5‑6％。

技术领域

本发明涉及硅片生产领域，尤其是一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂及使用方法。

背景技术

为降低硅片的切割成本，硅锭的切割由砂浆切割改为金刚线切割，金刚线切割的硅片比砂浆切割的表面发生较大变化，硅片表面的损伤层变得更少，导致常规酸制绒(HF/HNO₃)较难腐蚀(相同条件下，比砂浆切割的腐蚀量低)，反射率降低不明显，制绒后反射率比砂浆的要高4-6％，导致电池的转换效率偏低，无法用于正常生产。

目前解决金刚线切割硅片制绒的方法有：(1)、干法黑硅，RIE，设备成本投入较大，所用气体对环境影响较大；(2)、湿法黑硅，硝酸银，设备成本投入较大；(3)、在HF/HNO₃体系中使用制绒添加剂，改善制绒效果降低反射率。无需投入新的设备。

由于前两种方法，在设备成本上的投入较大以及车间闲置空间的限制，电池片生产厂更趋向于使用第三种方法，于是我公司设计了一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂来解决该问题。

发明内容

为了解决上述现有技术中存在的问题，本发明提供一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂及使用方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂，包括有添加剂和酸制绒液混合制成，所述添加剂由磺酸盐、全氟烷基聚氧乙烯醚、有机酸或其盐类中的一种或几种和超纯水混合而成；所述添加剂的成分比例为：磺酸盐的质量分数为1-10％，全氟烷基聚氧乙烯醚的质量分数为0.01-1％，有机酸或其盐类的质量分数为2-10％，其余为超纯水；所述酸制绒液的成分比例为：硝酸质量分数为15-50％，氢氟酸质量分数为5-30％，其余为超纯水。

一种金刚线切割的多晶硅酸制绒添加剂的使用方法，包括如下步骤：

S1、将磺酸盐、全氟烷基聚氧乙烯醚、有机酸或其盐类和超纯水按一定比例配置成添加剂；

S2、将硝酸、氢氟酸和超纯水按一定比例配置成酸制绒液；

S3、将一定量的添加剂加入步骤S2制得酸制绒液中，得到混合液；

S4、将金刚线切割的多晶硅片放置到步骤S3制得的混合液中反应，反应一定时间后取出。

本发明还具有以下附加技术特征：步骤S4中的反应条件为：反应温度控制在2-10℃，反应时间控制在60-200s。

本发明和现有技术相比，其优点在于：使用本添加剂后绒面(腐蚀坑洞)更加均匀，并且绒面更加细小，与未使用添加剂酸制绒制得硅片相比，反射率降低5-6％。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明未加入添加剂示意图；