[发明专利]含有晶圆透镜的光学投影装置

权利要求书

1.一种含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，包括，

光源，固定在基底上，用于发射光束；

透镜系统，包括晶圆透镜和普通光学透镜，通过镜筒设置在所述基板上方，用于接收所述光源发射的光束并向外投射平行光束；

衍射光学元件，设置在所述透镜系统的上方，接收所述平行光束并向外投射图案化光束。

2.如权利要求1所述的含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，所述晶圆透镜包括透明基板部分和透镜部分；所述透镜部分设置在所述透明基板部分的表面；所述晶圆透镜通过形塑模具包裹有透光或不透光的封装外壳。

3.如权利要求2所述的含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，所述晶圆透镜通过所述封装外壳的边缘对齐所述基底边缘；所述封装外壳通过光固化胶、热固化胶或螺栓中的至少一种方式与所述基板黏合、固定。

4.如权利要求1所述的含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，所述光学透镜镶嵌、黏合于所述镜筒内，并通过所述镜筒的边缘对齐所述基板边缘。

5.如权利要求1所述的含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，包括至少两组层叠的所述透镜系统，所述层叠的透镜系统中的晶圆透镜对齐所述晶圆透镜的封装外壳的边缘。

6.如权利要求1所述的含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，所述光源包括一维光源阵列或二维光源阵列排布的子光源；所述透镜系统包括晶圆透镜阵列和普通光学透镜。

7.如权利要求6所述的含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，所述晶圆透镜阵列通过形塑模具包裹在封装外壳内；所述形塑模具依据所述光源的子光源分布设计；所述光源的子光源与所述晶圆透镜阵列的子透镜是一对一的关系或一对多的关系。

8.如权利要求6任一所述的含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，包括至少两组层叠的透镜系统，所述层叠的透镜系统中的晶圆透镜阵列对齐所述晶圆透镜阵列的封装外壳的边缘。

9.一种含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，包括，

光源，固定在基底上，用于发射光束；

晶圆级光束生成系统，包括至少一个晶圆透镜和晶圆组合光学元件，用于接收所述光源发射的光束，并向外投射图案化光束；

其中，所述晶圆透镜和所述晶圆组合光学元件封装在透光或不透光的外壳中，并对齐外壳边缘；

其中，所述晶圆组合光学元件包括设置在透明基板一侧的晶圆透镜部分和设置在透明基板另一侧的晶圆级衍射光学元件；

所述晶圆透镜部分与所述晶圆透镜构成透镜系统。

10.如权利要求1-9任一所述的含有晶圆透镜的光学投影装置，其特征在于，所述透镜系统的光学元件表面附着有透过率相同或不相同的选择性透过薄膜。