[发明专利]除泡装置及除泡方法在审
申请号: | 201810080269.3 | 申请日: | 2018-01-27 |
公开(公告)号: | CN108296134A | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 谢锐 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B05C11/10 | 分类号: | B05C11/10 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;阳志全 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传输通道 液体材料 破裂 出液通道 除泡装置 进液通道 残留 除泡 去除 加热 真空吸附力 传输 加热单元 加热搅拌 气泡清除 气体膨胀 倾斜设置 液体传输 粘稠液体 再利用 粘稠度 制程 上游 | ||
本发明公开了一种除泡装置,包括上游的进液通道、下游的出液通道、设于所述进液通道与所述出液通道之间以传输粘稠液体的传输通道以及用于对所述传输通道加热的第一加热单元,所述传输通道相对于水平面倾斜设置。本发明还公开了一种除泡方法。本发明通过利用倾斜的传输通道传输粘稠度高的液体材料,且在液体传输过程中对液体材料进行加热使其中的气泡内的气体膨胀,气泡上升而破裂,从而去除液体材料内的残留气泡;另外,通过外加真空吸附力使得气泡加速上升而破裂,再利用加热搅拌的方式更进一步地二次去除材料内的残留气泡,材料内的残留气泡清除效果更佳,避免了后续高温制程中材料内的气泡破裂而引起产品不良。
技术领域
本发明涉及液体预处理技术领域,尤其涉及一种除泡装置及除泡方法。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)面板是利用有机电致发光二极管制成的显示屏。由于具备自发光的有机电致发光二极管,不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异的特性,被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。
在柔性OLED面板制程中,需要在玻璃基板上覆盖一层PI(Polyimide的简称,俗称聚酰亚胺)材料来代替玻璃成为TFT(Thin Film Transistor,即薄膜晶体管)基材,PI材料属于粘稠度较高的液体,因此其内部存留的气泡(Bubble)很难去除,因PI材料的厚度一般只有20um左右,当有气泡的PI材料涂布在玻璃基板上,经过后期的高温制程时,具有气泡的PI材料容易破裂而引发产品不良的缺陷。
发明内容
鉴于现有技术存在的不足,本发明提供了一种用于去除PI液等粘稠液体内部残留气泡的除泡装置及除泡方法,可以有效地去除材料内部残留的气泡,避免后续高温制程中材料内的气泡破裂而引起产品不良。
为了实现上述的目的,本发明采用了如下的技术方案:
一种除泡装置,包括上游的进液通道、下游的出液通道、设于所述进液通道与所述出液通道之间以传输粘稠液体的传输通道以及用于对所述传输通道加热的第一加热单元,所述传输通道相对于水平面倾斜设置。
作为其中一种实施方式,所述的除泡装置还包括用于抽真空的第一抽气装置,所述传输通道设于真空腔体内并与所述第一抽气装置连通。
作为其中一种实施方式,所述第一抽气装置的抽气管口设于所述传输通道上方。
作为其中一种实施方式,所述的除泡装置还包括设于所述传输通道下游并分别与所述传输通道、所述出液通道连通的沉降池,且所述沉降池的底面低于所述传输通道的下游端。
作为其中一种实施方式,所述第一加热单元还对所述沉降池进行加热。
作为其中一种实施方式,所述第一加热单元包括加热源和导热层,所述导热层覆盖于所述传输通道和所述沉降池外表面,所述加热源用于对所述导热层加热。
作为其中一种实施方式,所述沉降池设于真空腔体内,并连接有用于抽真空的抽气装置。
作为其中一种实施方式,所述的除泡装置还包括搅拌机构,所述搅拌机构伸入所述沉降池内,用于对所述沉降池内的液体进行搅拌。
作为其中一种实施方式,所述的除泡装置还包括第二加热单元,所述第二加热单元与所述搅拌机构连接,以对所述搅拌机构加热。
本发明还提供了一种除泡方法,使用上述的除泡装置,液体自所述进液通道注入后沿所述进液通道流动,自所述出液通道流出。
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