[发明专利]一种可见到红外波段宽带吸收器及其制备方法

权利要求书

1.一种可见到近红外宽带吸收器，其特征在于：包括基片，其特征在于:在所述基片上从下到上依次设有聚苯乙烯小球单层膜层以及由金属吸收层和非金属介质层相互交替构成的交替膜层，金属介质层靠近底部聚苯乙烯小球单层膜层；所述金属吸收层由一个或多个金属吸收层单元组成，所述非金属介质层由一个或多个金属吸收层单元组成。

2.根据权利要求1所述的一种可见到近红外宽带吸收器，其特征在于：所述基片采用硅晶片或玻璃片制作。

3.根据权利要求1所述的一种可见到近红外宽带吸收器，其特征在于：所述聚苯乙烯小球单层膜层中小球的直径≦1000nm。

4.根据权利要求1所述的一种可见到近红外宽带吸收器，其特征在于：所述金属吸收层采用银制作。

5.根据权利要求1所述的一种可见到近红外宽带吸收器，其特征在于，所述非金属介质层的采用二氧化硅制作。

6.根据权利要求4或5所述的一种可见到近红外宽带吸收器，其特征在于：所述金属吸收层和非金属介质层的厚度为10nm-30nm。

7.一种权利要求1-6任一所述的可见到近红外宽带吸收器制备方法，其特征在于：具体步骤如下：

(1)根据吸收带宽要求和吸收率的要求，通过优化设计得出各层膜的厚度；

(2)配制洗液清洗基片，然后用去离子水冲洗干净，氮气吹干，固定在真空沉积室中；

(3)浓度为聚苯乙烯球水溶液与无水乙醇均匀混合,比例为1：1,并超声20分钟，将混合液滴于液面后沉降于经过步骤(2)处理的基片上并烘干,形成聚苯乙烯小球单层膜层；

(4)在压力小于1×10^-6Torr的真空沉积室中，通过电子束蒸发，在步骤(3)的基片上，先以0.1nm/s的速度沉积金属吸收层和非金属介质层，且旋转基片使其法线与沉积方向夹角为75°-85°，每个金属吸收层和非金属介质层单元的样品台方位旋转角可以调控。

8.根据权利要求7所述的一种可见到近红外宽带吸收器制备方法，其特征在于：步骤(2)中所述洗液采用体积比为8:2的98％硫酸和30％双氧水的混合溶液，或者体积比为5:1:1的去离子水、过氧化氢、氢氧化铵的混合溶液。