[发明专利]抓取和安放装置有效
申请号: | 201810082370.2 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN108288602B | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 袁多胜;赵明 | 申请(专利权)人: | 英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人: | 杨胜军 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吸附组件 吸嘴 背板组件 驱动机构 可调节限位机构 第一驱动机构 竖直方向移动 抓取 安放装置 驱动 可移动地设置 水平方向移动 备件采购 备件管理 间距位置 生产效率 转动 | ||
1.一种抓取和安放装置(1),包括:
背板组件(3);
设置在所述背板组件(3)上的第一吸附组件(5),所述第一吸附组件(5)至少包括第一驱动机构和第一吸嘴,所述第一吸嘴能够被所述第一驱动机构驱动以便在竖直方向移动;
相对于所述第一吸附组件(5)在水平方向可移动地设置在所述背板组件(3)上的第二吸附组件(7),所述第二吸附组件(7)至少包括第二驱动机构和第二吸嘴,所述第二吸嘴能够被所述第二驱动机构驱动以便在竖直方向移动;
用于驱动所述第二吸附组件(7)相对于所述第一吸附组件(5)在水平方向移动的第三驱动机构;以及
可调节限位机构(37),通过转动所述可调节限位机构(37)的一部分能够将所述第一吸嘴与所述第二吸嘴选择性地保持在至少两个不同的间距位置处。
2.根据权利要求1所述的抓取和安放装置(1),其特征在于,所述可调节限位机构(37)包括转盘(39)和阻挡件(41),所述转盘(39)包括转盘主体(43)以及放射状地设置到所述转盘主体(43)上的至少两个不同长度的间距杆(45),所述间距杆(45)用于抵靠所述阻挡件(41)以便将所述第一吸嘴与所述第二吸嘴限制在选定的间距位置处;
其中,所述转盘(39)和所述阻挡件(41)中的一个被设置在所述第一吸附组件(5)或所述背板组件(3)上,所述转盘(39)和所述阻挡件(41)中的另一个被设置在第二吸附组件(7)上并且能够随着所述第二吸附组件(7)在水平方向移动,以及所述转盘(39)被可转动地设置。
3.根据权利要求2所述的抓取和安放装置(1),其特征在于,所述转盘(39)被可转动地设置在所述第一吸附组件(5)或所述背板组件(3)上,所述阻挡件(41)被设置在所述第二吸附组件(7)上并且能够随着所述第二吸附组件(7)在水平方向移动。
4.根据权利要求2所述的抓取和安放装置(1),其特征在于,所述转盘主体(43)具有绕着所述转盘主体的中心轴线成旋转对称的形状。
5.根据权利要求2所述的抓取和安放装置(1),其特征在于,所述转盘(39)包括六个不同长度的间距杆(45)。
6.根据权利要求2所述的抓取和安放装置(1),其特征在于,所述间距杆(45)可拆卸地设置在所述转盘主体(43)上。
7.根据权利要求3所述的抓取和安放装置(1),其特征在于,所述阻挡件(41)与所述第二吸附组件(7)的一部分成一体地形成。
8.根据权利要求2所述的抓取和安放装置(1),其特征在于,所述间距杆(45)上设置有数字或符号标记。
9.根据权利要求1所述的抓取和安放装置(1),其特征在于,所述第一驱动机构、所述第二驱动机构和所述第三驱动机构分别是第一气缸组件、第二气缸组件和第三气缸组件。
10.根据权利要求1所述的抓取和安放装置(1),其特征在于,所述抓取和安放装置用于抓取和安放晶片或芯片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造