[发明专利]基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统

权利要求书

1.一种基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统，其特征在于，包括光纤激光器(1)、光纤耦合器模块(2)、光纤阵列(3)、待测件(4)以及干涉图像采集系统，所述光纤激光器(1)、光纤耦合器模块(2)、光纤阵列(3)依次共第一光轴设置，所述待测件(4)位于第二光轴，第二光轴与第一光轴夹角为每根光纤出射光束发散角的四分之一，所述待测件(4)的最佳拟合球面曲率中心与光纤阵列(3)端面中心重合；

光纤激光器(1)发出的线偏振激光由光纤导入光纤耦合器模块(2)，光纤耦合器模块(2)将一束激光分成若干束激光，若干束激光导入光纤阵列(3)，生成若干个标准球面波，其中一部分标准球面波作为参考光进入干涉图采集系统，另一部分标准球面波作为测试光入射到被测件(4)，测试光依次经被测件(4)、光纤阵列(3)反射进入干涉图采集系统，参考光与测试光在干涉图采集系统中形成移相干涉图。

2.根据权利要求1所述的基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统，其特征在于，所述干涉图采集系统包括准直物镜(5)、长筒光阑(6)、空间偏振移相模块、成像透镜(10)和CCD相机(11)，所述准直物镜(5)、长筒光阑(6)、空间偏振移相模块、成像透镜(10)和CCD相机(11)共第三光轴设置，参考光与测试光经准直透镜(5)形成若干束平行光，若干束平行光经过长筒光阑(6)滤除杂散后经过空间偏振移相模块，空间偏振移相模块将每束光分为四束具有相位差的衍射光，经成像透镜(10)在CCD相机(11)靶面上形成相位各相差π/2的四幅空间移相干涉图。

3.根据权利要求2所述的基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统，其特征在于，所述空间偏振移相模块包括位相光栅(7)、会聚透镜(8)、微偏振片阵列(9)，经过长筒光阑6滤除杂散后的平行光经位相光栅(7)分光得到衍射光，经会聚透镜(8)后分别通过微偏振片阵列(9)的不同区域。

4.根据权利要求1所述的基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统，其特征在于，被测件(4)所在的第二光轴与干涉图采集系统所在的第三光轴在第一光轴两侧对称分布。

5.根据权利要求1所述的基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统，其特征在于，所述光纤耦合器模块(2)的若干束激光通过光纤导入光纤阵列(3)。