[发明专利]末端执行器

权利要求书

1.一种用于保持基板的末端执行器，其具有多层主体(14)以及设置在所述主体(14)中的流体通道(34)，其中，所述主体(14)包括至少两层(40，42，44；66，68)，其中，所述层中的至少一个(44；68)本身不是稳定的。

2.根据权利要求1所述的末端执行器，其特征在于，凹槽(70)和/或狭槽(46)结合在所述层中的至少一个(42；66)中，并且部分地限定所述流体通道(34)。

3.根据权利要求2所述的末端执行器，其特征在于，所述凹槽(70)和/或所述狭槽(46)由所述层中的至少另一个(40，44；66)覆盖并密封。

4.根据权利要求3所述的末端执行器，其特征在于，所述主体(14)包括三层(40，42，44)，其中，所述三层(40，42，44)中的中间层(42)设有被外面的两层(40，44)覆盖的所述狭槽(46)，由此形成所述流体通道(34)。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的末端执行器，其特征在于，所述层中的一个(40，42；66)、尤其是结合有所述凹槽(70)和/或所述狭槽(46)的层(42；66)，由金属片制成。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的末端执行器，其特征在于，所述至少两层(40，42，44；66，68)彼此一致，并且/或者具有所述末端执行器(10)的轮廓。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的末端执行器，其特征在于，所述至少一个层(40，42，44；66，68)中的至少一个是预制部件。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的末端执行器，其特征在于，所述层中的一个(44；68)、尤其是本身不稳定的层(44；68)，由合成材料制成，尤其是合成材料膜制成。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的末端执行器，其特征在于，所述至少两层(40，42，44；66，68)粘附在一起。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的末端执行器，其特征在于，所述主体(14)包括接收端(16)和紧固端(18)，其中，用于保持所述基板的保持区域(24)设置在所述接收端(16)上。

11.根据权利要求10所述的末端执行器，其特征在于，切口(26)从所述接收端(16)延伸到所述主体(14)中，其中，保持臂(32)由所述切口(26)形成。

12.根据权利要求11所述的末端执行器，其特征在于，所述切口(26)在其面向所述紧固端(18)的端部上具有至少一个半径(R₁；R₂)，并且尤其是U形的。

13.根据权利要求10所述的末端执行器，其特征在于，所述流体通道(34)从所述紧固端(18)延伸到所述保持区域(24)中，尤其是延伸到所述保持臂(32)中，并且在该位置处布局到开孔(38)中。

14.根据权利要求13所述的末端执行器，其特征在于，保持装置(15)设置在所述开孔(38)中或者在所述开孔(38)上，并且尤其包括密封唇(50)。

15.根据权利要求14所述的末端执行器，其特征在于，所述保持装置(15)是吸附装置，尤其是真空吸盘或基于伯努利效应的固定装置。

16.根据权利要求10所述的末端执行器，其特征在于，在所述紧固端(18)上设置有凸缘区域(20)、尤其是凸缘板(22)，以便将所述末端执行器(10)紧固到输送装置、尤其是机械臂。