[发明专利]磁控溅射设备及其遮挡板组件

说明书

本发明公开一种磁控溅射设备及其遮挡板组件，其中遮挡板组件包括相互搭接的第一遮挡板和第二遮挡板，第一遮挡板和第二遮挡板设置为弧形结构，第一遮挡板的圆心与第二遮挡板的圆心分别设置于遮挡板组件的两侧。由于第一遮挡板和第二遮挡板预先设置为弧形结构，有利于遮挡板自身内力的释放，从而可以降低遮挡板变形的风险。

技术领域

本发明涉及磁控溅射设备。尤其与遮挡板组件有关。

背景技术

薄膜晶体管行业中磁控溅射设备中的装载托盘通常承载基板在高温高真空腔体内镀膜。为防止等离子体污染腔体，通常需要使用遮挡板对等离子体进行隔离。

遮挡板一般是铝合金材质，在高温的腔体内使用时经常出现变形现象，变形后的遮挡板容易在交叠的位置摩擦产生颗粒，摩擦产生的颗粒通常会在腔体内不断聚集，而后在放电过程中会射到基板上，造成产品端由于短路或者断路而造成的产品不良高发，从而降低产品良率。并且，变形后的遮挡板应力聚集在螺丝固定的位置，使得拆除极其费力，影响作业效率。特别的，在薄膜晶体管中栅极和源漏极一般采用金属钼或者钼合金，在使用过程中，钼或者钼合金将沉积在腔体内的遮挡板上，导致遮挡板应力增大，使用过程中经常出现变形的情况，这种变形的情况出现后一般会维修或者严重的直接报废，造成了极大损失。

另外，当遮挡板发生变形时，设备不能提示报警，无法获知腔体内的摩擦和颗粒情况。

因此，如何提供一种遮挡板，以防止自身变形，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明的一个主要目的在于克服上述变形缺陷，提供一种遮挡板组件。

为实现上述发明目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供了一种遮挡板组件，包括相互搭接的第一遮挡板和第二遮挡板，所述第一遮挡板和所述第二遮挡板设置为弧形结构，所述第一遮挡板的圆心与所述第二遮挡板的圆心分别设置于所述遮挡板组件的两侧。

根据本发明的一实施方式，其中所述第一遮挡板具有第一弧度，所述第一弧度为0.7π-0.9π，所述第一遮挡板的弧长为0.3-0.5m，以及/或者所述第二遮挡板具有第二弧度，所述第二弧度为0.7π-0.9π，所述第二遮挡板的弧长为0.3-0.5m。

根据本发明的一实施方式，其中所述遮挡板组件还包括滚珠组件，所述滚珠组件设置于所述第一遮挡板和所述第二遮挡板的搭接位置，所述滚珠组件设置于所述第一遮挡板和所述第二遮挡板两者中的一者上，所述滚珠组件的滚珠朝向所述第一遮挡板和所述第二遮挡板两者中的另一者的搭接面。

根据本发明的一实施方式，其中所述滚珠组件还包括固定件以及用于连接所述滚珠和所述固定件的连接件，所述固定件具有通孔，所述连接件设置于所述通孔内，所述滚珠可转动地设置于所述通孔的一端，所述固定件固定设置于所述第一遮挡板或者所述第二遮挡板预设的凹槽内，所述滚珠的滚珠面突出于所在遮挡板的搭接面。

根据本发明的一实施方式，其中所述搭接面设置于所述第一遮挡板或者所述第二遮挡板的内侧面的端部，所述搭接面与外侧面之间的距离尺寸小于内侧面到外侧面之间的距离尺寸。

根据本发明的另一方面，提供一种磁控溅射设备，所述磁控溅射设备包括成模基板、靶材结构以及设置于所述成模基板和所述靶材结构之间的遮挡板组件，所述遮挡板组件为本发明提供的遮挡板组件，所述遮挡板组件形成闭环结构。

根据本发明的一实施方式，其中所述磁控溅射设备还包括报警装置，所述报警装置设置于所述第一遮挡板或者所述第二遮挡板的外侧，所述报警装置设置为与搭接面相对，以在所述报警装置相邻的遮挡板变形的情况下，所述报警装置发出警报。