[发明专利]机床直线运动运行态的全自由度精度检测装置

权利要求书

1.一种机床直线运动运行态的全自由度精度检测装置，其特征在于：所述的检测装置包括基准尺（1）、测量单元（2）和安装单元（3）；

所述的基准尺（1）平行于机床Y轴线所在的ZY平面和XY平面并放置于工作台（4）上；基准尺（1）随着工作台（4）沿Y轴运动；

所述的测量单元（2）由安装板Ⅰ（9）、安装板Ⅱ（16）、位移传感器Ⅰ（10）、位移传感器Ⅱ（12）、位移传感器Ⅲ（13）、位移传感器Ⅳ （14）、位移传感器Ⅴ（15）和转向块（11）构成，所述的安装板Ⅰ（9）与安装板Ⅱ（16）相互垂直，安装板Ⅰ（9）与测量平面Ⅲ（7）平行且相距10mm，安装板Ⅱ（16）与测量平面Ⅱ（6）平行且相距10mm；所述的位移传感器Ⅰ（10）、位移传感器Ⅱ（12）和位移传感器Ⅲ（13）固定在安装板Ⅰ（9）上，位移传感器Ⅰ（10）和位移传感器Ⅲ（13）测量机床Y轴线在ZY平面的直线度偏差和角度偏差，位移传感器Ⅱ（12）和位移传感器Ⅲ（13）测量机床Y轴线在ZX平面的角度偏差；所述的位移传感器Ⅳ（14）和位移传感器Ⅴ（15）固定在安装板Ⅱ（16）上，位移传感器Ⅳ（14）和位移传感器Ⅴ（15）测量机床Y轴线在XY平面的直线度偏差和角度偏差；所述的转向块（11）通过螺钉固定安装在安装板Ⅰ（9）上；

所述的安装单元（3）由拉钉（17）、刀柄（18）、锁紧螺母（19）和连接杆（20）构成，所述刀柄(18）通过拉钉（17）与机床连接固定，所述连接杆（20）通过锁紧螺母（19）与刀柄（18）固定连接；

所述的安装单元（3）的连接杆（20）与测量单元（2）的转向块（11）通过螺钉连接；所述的基准尺（1）为具有测量平面Ⅰ（5）、测量平面Ⅱ（6）、测量平面Ⅲ（7）和测量平面Ⅳ（8）且截面为正方形的长方体，所述的测量平面Ⅰ（5）和测量平面Ⅱ（6）在ZY平面内，所述测量平面Ⅲ（7）和测量平面Ⅳ（8）在XY平面内；

位移传感器Ⅰ（10）、位移传感器Ⅲ（13）与测量平面Ⅲ（7）垂直并接触，位移传感器Ⅱ（12）与测量平面Ⅳ（8）垂直并接触，位移传感器Ⅳ（14）、位移传感器Ⅴ（15）测量平面Ⅱ（6）垂直并接触；位移传感器Ⅰ（10）、位移传感器Ⅱ（12）、位移传感器Ⅲ（13）、位移传感器Ⅳ（14）、位移传感器Ⅴ（15）同时测量其与基准尺（1）间相对位移变化值。

2.根据权利要求1所述的机床直线运动运行态的全自由度精度检测装置，其特征在于：所述的位移传感器Ⅰ（10）、位移传感器Ⅱ（12）、位移传感器Ⅲ（13）、位移传感器Ⅳ（14）和位移传感器Ⅴ（15）为接触式位移传感器或非接触式位移传感器。

3.根据权利要求1所述的机床直线运动运行态的全自由度精度检测装置，其特征在于：所述的转向块（11）为具有三个空间垂直通孔的正方体形零件。

4.根据权利要求1所述的机床直线运动运行态的全自由度精度检测装置，其特征在于：所述的刀柄（18）为BT系列、HSK系列或SK系列中的一种。