[发明专利]一种可调光学带隙的氧锌镁材料、制备方法及太阳能电池在审
| 申请号： | 201810090928.1 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108321216A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 郭逦达;王磊;陈涛;李新连;杨立红 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;尚世浩 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学带隙 制备 镁材料 氧锌 复合薄膜层 太阳能电池 复合薄膜 原子比 多层 可调 两层 组份 薄膜光学 单层薄膜 单一组份 渐变结构 开路电压 连续调控 填充因子 转换效率 复合材料 渐变 带隙 电池 | ||
1.一种可调光学带隙的氧锌镁材料，其特征在于，所述氧锌镁材料为光学带隙渐变的复合材料，包括两层或两层以上的复合薄膜层；每层所述复合薄膜层均由Zn元素与Mg元素按设定的原子比制备而成；
且，任一层所述复合薄膜层中的Zn元素与Mg元素的原子比均与其它所述复合薄膜层中的Zn元素与Mg元素的原子比不同。
2.根据权利要求1所述的可调光学带隙的氧锌镁材料，其特征在于，所述Zn元素与Mg元素设定的原子比范围为1：1至20：1。
3.根据权利要求1所述的可调光学带隙的氧锌镁材料，其特征在于，沿着光子入射方向，自最上层的所述复合薄膜层向最下层的所述复合薄膜层延伸时，所述Zn元素与所述Mg元素的原子比逐渐增加，带隙逐渐减小。
4.根据权利要求1所述的可调光学带隙的氧锌镁材料，其特征在于，所述Zn元素来源于含锌化合物。
5.根据权利要求4所述的可调光学带隙的氧锌镁材料，其特征在于，所述含锌化合物为二乙基锌。
6.根据权利要求1所述的可调光学带隙的氧锌镁材料，其特征在于，所述Mg元素来源于含镁化合物。
7.根据权利要求6所述的可调光学带隙的氧锌镁材料，其特征在于，所述含镁化合物为二茂镁。
8.一种可调光学带隙的氧锌镁材料制备方法，其特征在于，用于制备上述权利要求1至7中任一项的可调光学带隙的氧锌镁材料，包括以下步骤：
1)将基底清洗干净；
2)使用三种前驱体源制备ZnMgO，二乙基锌为Zn元素来源，二茂镁为Mg元素来源，水为O元素来源；
3)将所述基底放置于样品托盘中，并放置于原子层沉积设备中；设定沉积温度，及按氧锌镁材料所包括的复合薄膜层中Zn元素与Mg元素设定的原子比为复合薄膜层的生长程序，进行沉积反应；
4)取出沉积有复合薄膜层的基底。
9.根据权利要求8所述的可调光学带隙的氧锌镁材料制备方法，其特征在于，所述沉积温度为100℃至250℃。
10.一种太阳能电池，其特征在于，使用上述权利要求1至7中任一项的可调光学带隙的氧锌镁材料作为缓冲层材料。
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